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北京科技大学光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备
招标详情
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***********公司企业信息
****2026年9至12月政府采购意向-****光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备 详细情况
| ****光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备 |
| 预算金额： | 857.800000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
（一）采购标的名称：光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 本采购标的服务于亚10纳米超高精度电子束曝光系统、自动化快速扫描原子力显微镜、聚焦离子束系统等纳米级精密工艺设备，通过主动减震台实现超低振动工艺环境，并通过二次配系统完成各公用专业（排风、废水、给水、气体、高真空、GDS、电气）与工艺设备的物理接口和功能对接，实现设备到场即可投产的交付目标。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款后3个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于2年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。
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| 预计采购时间： | 2026-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-20
招标预告
北京科技大学光刻机等工艺设备减震台/管路/阀门特殊二次配设备
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