中标金额超1.73亿元！清华大学近一月科研仪器采购集中落地

从品类结构看，本次配置呈"核 心制造装备集中投入、检测分析仪器多点开花"的态势。成交额居前的多为 半导体制造与工艺环节装备 ： 激光退火设备 以 2400万元 位列 榜首 ， **度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD） 以 2396.4万元 紧随其后，两套 金属有机物化学气相沉积系统（MOCVD） 各以 1580万元 成交， ISSG氧化氮化设备 、 场发射高分辨透射电镜 分别录得14 85万元、944万元，半导体产线级投入特征明显。

国产装备在本轮采购中表现抢眼。 北方华创、华卓精科、**晶源、中晟光电、**科仪 等本土厂商多款设备中标，覆盖氧化氮化、激光退火、关键尺寸检测、MOCVD、PECVD等关键环节；ANaME旗下氧化物/氮化物/金属薄膜系列ALD设备与锐思创能ECV测试仪等亦同步落地。与此同时， JEOL、SPTS、SENTECH 等国际厂商 的 高端 透射电镜、干法刻蚀系统补齐进口需求，形成国产替代与 高端 引进 并行的配置格局。

生命科学成像赛道 同样密集采购： 京百卓显多色荧光共振能量转移与荧光寿命成像系统(815.8万元)、盛华核安神经元可塑性多维超分辨成像系统(835.8万元)、纳析科技多模态活细胞成像观测仪(449.5万元) 等大型成像装备先后到位，配合微孔板读板机、荧光分析仪、核酸合成与检测仪器及LNP合成仪、微流控装置，串联起从分子检测到活体成像的完整实验链条。此外，熔盐储热与调峰调频系统、老化试验箱与振动试验系统等能源、可靠性测试装备亦有布局。

中标详情如下：