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[HF20262660]数控匀胶旋涂仪分散采购公告
招标详情
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400-688-2000
一、采购项目信息
1.项目名称：数控匀胶旋涂仪
2.预算金额（人民币）：68000元
二、供应商资格条件
1.符合《****政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 1 | 数控匀胶旋涂仪 | 1 | 1、腔体尺寸：腔体内径不小于220毫米； 2、支持Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm； 3、转动速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec； 5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%； 6、转速调节精度：≤1rpm； 7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step，精度达0.1s ； 8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观**； 9、带高精度数码控制器； 10、程序存储量不少于20个； 11、使用安全可靠； 12、保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护。 | 在质保期内，应对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题负责，并免费进行修理、更换零部件或退换，并须对设备出现的有关技术性问题或安全问题负责处理、解决，电话报修后8小时上门服务、24小时内排除故障。同时应相应**被更换货物的质保期。 |
四、采购文件获取
请参与报价的供应商点击下方我要报价按钮登录采购管理系统下载采购文件。
五、响应文件提交标书代写
报价截止时间：2026年09月30日17时30分（**时间），供应商须在报价截止时间之前在采购管理系统内提交盖章扫描的报价文件。标书代写
六、项目联系人
联系人：王秋
电话：181****4069
****
2026年09月22日
招标进度跟踪
2026-09-22
招标公告
[HF20262660]数控匀胶旋涂仪分散采购公告
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