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品圆表面质量检测仪等设备购置项目
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
****政府采购意向公告-品圆表面质量检测仪等设备购置项目 详细情况
| 品圆表面质量检测仪等设备购置项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****政府采购意向公告 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 品圆表面质量检测仪等设备购置项目 |
| 预算金额： | 80.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
品圆表面质量检测仪，1台1、可用于 6 英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。2、三轴独立压电陶瓷平板扫描器，三轴严格正交，XY 方向扫描畸变≤1%；2.2扫描范围优于 100 μm×100 μm×10 μm；X、Y 方向噪音水平≤0.2nm 闭；Z 方向噪音水平≤0.04 nm 闭环；线性度：XY 方向≤0.02%，Z 方向≤0.08%；扫描速率优于 0.1 Hz～30 Hz；扫描角度 0～360°；图像分辨率/采样点≥8 通道同时采集，采样点优于 32×32～4096×4096；热漂移≤1nm/min；进针方式为步进电机与压电陶瓷交替下针，其中步进电机行程≥25 mm，步进精度≤50nm。3、光学辅助观察系统：探针定位摄像头光学分辨率≤1 μm，探针定位摄像头支
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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