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[BA202601346]高真空磁控溅射镀膜机

结果-中标通知

吉林 -长春

发布时间： 2026年09月23日

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磁控溅射镀膜机

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***********公司企业信息

采购信息

项目编号项目名称经办人单位经办人预算金额成交金额成交供应商质保期发票要求联系地址发票要求付款方式供应商联系手机交货时间交货地址交货方式包装及运费验收方式售后服务要求

****	高真空磁控溅射镀膜机
**学院、**学院	王琛
299800.00 人民币	297000.00 人民币
****	12 月
乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，****大学开具增值税专用发票。
省-市-区庙山大道九号**基地18号楼101-201室	采购单位	**、**学院
乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，****大学开具增值税专用发票。
货到验收合格办理相关手续后100%付款。
183****7396	成交单签订后7天内交货
省-市-火炬路75**大学未来**实验室1号楼112
乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
由乙方免费提供及承担
以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
设备标准质保期为整机1年免费质保，可根据采购需求协商**质保周期；质保期内非人为损坏的核心硬件故障、设备故障均由厂家免费维修、免费更换非易损零部件，同时提供7×24小时线上远程技术指导，故障响应及时，国内区域工程师可快速上门排查维修。设备质保期满后，厂家提供终身成本价维护、终身备件供应服务，持续提供设备检修、工艺优化、软件升级、配件更换等全套技术支持。设备后续年度维护、保养、备件更换等费用，将从单位年度设备运维专项经费、科研项目经费中列支，经费来源稳定、可持续，能够完全保障设备长期稳定运行、常态化开展科研与教学工作，确保设备使用寿命与使用效能最大化。

明细清单

采购品目品牌名称名称产地及生产商规格型号数量计量单位保修年限单价总价主要技术参数

真空应用设备	普迪真空
高真空磁控溅射镀膜机	中国-****
PD-400C	1
台	1 年
297000.00 人民币	297000.00 人民币
1.304不锈钢真空室，前开门，带观察窗； 2.真空系统：采用分子泵+机械泵真空系统，极限真空优于5×10-5Pa；（干燥环境），从大气抽到工作真空（5×10-4 Pa）时间少于35分钟（干燥氮气环境），系统漏率≤2x10-8 Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核）； 3.气体控制：2路进气，最大流量分别为200/10sccm； 4.系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度≤5Pa； 5.工作台：衬底4英寸及以下，可加热至400度，电动升降，转速0-30RPM可调； 6.溅射靶：3支2英寸圆形靶枪，共焦向下溅射，靶枪与工件距离可调； 7.溅射电源：配直流电源1台（最大输出功率500W）及射频电源2台（最大输出功率300W）； 8.成膜质量：4英寸范围内不均匀性片内≤±5%。

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