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海纳半导体（山西）有限公司半导体硅单晶生产基地项目

审批

山西-太原-阳曲县

发布时间： 2026年09月23日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****9900MA0M9F2K3C	沈益军
李晨	省太**示范区
省市**县东黄水镇东万寿村东北侧145m处

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

********基地项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**县东黄水镇东万寿村东北侧145m处
经度:112.**556 纬度: 38.**667	****示范区行政审批局
	2022-10-25
晋综示行审发〔2022〕49号	****
2026-09-01	50000
2005	****
****9900MA0M9F2K3C	****
****9900MA0M9F2K3C	****公司,中碳****公司
**0100MA3XFP5K8B,**0307MA9JYR4X5H	2024-07-03

2026-08-26	2026-09-22
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=608269oahQ

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产750吨6英寸半导体级单晶硅锭	年产750吨6-8英寸半导体级单晶硅锭
根据市场需求变更产品尺寸，产能保持不变

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

备料、拉晶、割断、样品检测、滚圆、检验等工序	备料、拉晶、割断、样品检测、滚圆、检验等工序
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、严格落实大气污染防治措施。（1）掺杂剂为砷的抽真空废气由管道收集经各自过滤罐+水环真空泵+2级喷淋塔处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。掺杂剂为锑的抽真空废气由管道收集经各自过滤罐+真空泵+布袋除尘器处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。掺杂剂为高阻磷、硼的抽真空废气由管道收集经各自过滤罐+真空泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。掺杂剂为重掺磷的抽真空废气由管道收集经各自过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。（2）单晶炉拆炉清扫粉尘由刷头侧集气罩收集经过滤罐+水环真空泵清扫系统处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。（3）石墨件清理粉尘由操作平台侧吸集气罩收集经过滤罐+水环真空泵清扫系统处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后，达标排放。（4）酸腐蚀槽和清洗槽设密闭收集罩，酸洗、清洗废气（氟化物、氮氧化物、铬酸雾）由负压收集经一套酸雾净化处理设施处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准后，达标排放。严格落实水污染防治措施。酸洗、清洗废水、酸雾废气喷淋塔废水（含六价铬）采用“焦亚硫酸钠还原铬”工艺，经酸性还原+加碱调节+絮凝沉淀预处理工艺处理，含砷废气喷淋塔废水和水环真空泵含砷废水采用“化学沉淀+树脂”工艺，经加碱调节+化学沉淀+树脂预处理工艺处理。预处理后废水六价铬、总砷满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）第一类污染物最高允许排放浓度要求后与制水过程产生的制纯水含盐废水，磨圆、割断废水一起进入**处理站处理。处理工艺为调节+反应沉淀+A/SCBRII，处理站处理后的废水与制水废水水质达到《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准要求和《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水排放口水污染物排放限值，全盐达到《省污水综合排放标准》（DB14/1928-2019）中表3排放限值，**处理厂进水水质要求后，排入园区污水管网，处理厂处理。生活污水经化粪池预处理，出水水质达到《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A处理厂进水水质要求后，排入园区污水管网，处理厂处理。严格落实噪声污染防治措施。所有产生噪声的设备要选用低噪设备，合理布局，采取减震、隔声等有效降噪措施，确保噪声达标，不得发生噪声扰民现象。固体废物实施分类处理、处置。厂区设一般固体废物暂存间，废石英坩埚、废石墨件暂存厂区一般固废间内，定期由厂家回收。沾染硅、磷、硼锅底料、头尾料、单晶硅棒、晶体检验工序产生的不合格产品全部外售至当地太阳能电池制造企业。含磷、硼、硅除尘粉尘、沾染磷、硼、硅除尘器滤料返回厂家回收利用。其他**回收站回收。废反渗透膜由厂家回收再利用，污水处理不含砷、铬污泥经压滤机压滤成泥饼外售至建材企业利用。废矿物油，含砷、锑锅底料，污水处理含砷、铬污泥，含砷、锑除尘灰，沾染砷、锑除尘灰滤料，酸洗塔底泥，混酸废塑料桶，三氧化铬废塑料桶，废掺杂剂玻璃瓶等危险废物按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及2013修改单的要求分类暂存于危废暂存间，定期交由有危废处理资质的单位处置	（1）抽真空废气：掺杂剂为砷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵+2级喷淋塔处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；掺杂剂为锑单晶炉抽真空废气经过滤罐+真空泵+布袋除尘处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；掺杂剂为高阻磷、硼单晶炉抽真空经过滤罐+真空泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；掺杂剂为重掺磷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放。（2）拆炉清扫废气：掺杂剂为砷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；其他掺杂剂（磷、硼、锑）废气经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放。（3）石墨件清理废气：掺杂剂为砷废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；掺杂剂为锑废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放；掺杂剂为硼磷废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值后达标排放。（4）酸洗废气：腐蚀槽设密闭收集罩，收集后利用1套酸雾喷淋塔处理满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放限值后达标排放。本项目生产废水中含砷废水经“调节-碱性化学沉淀+树脂”预处理，含铬废水经“调节-酸化还原-沉淀”预处理，预处理后废水中的六价铬、总砷满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）第一类污染物最高允许排放浓度要求与制水过程中产生的制纯水含盐废水，磨圆、割断废水一起进入**处理站处理，处理工艺为“调节+反应沉淀+A/SCBRII”，废水经处理后与制水废水水质达到《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准要求和《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水排放口水污染物排放限值，全盐达到《省污水综合排放标准》（DB14/1928-2019）中表3排放限值，**处理厂进水水质要求后，排入园区污水管网，最终排入青龙污水处理。生活污水经化粪池处理后，废水水质应达到《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A处理厂进水水质要求，排入园区污水管网，处理厂。本项目产噪设备选用低产噪设备，置于全封闭车间及厂房内，合理布局，采取基础减振、厂房隔声等降噪措施，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准。厂区设置1座全封闭一般固废暂存库，废石英坩埚、废石墨件暂存厂区一般固废间内，定期由厂家回收；沾染硅、磷、硼锅底料、头尾料、单晶硅棒、晶体检验工序产生的不合格产品全部外售至当地太阳能电池制造企业；含磷、硼、硅除尘粉尘、沾染磷、硼、硅除尘器滤料返回厂家回收利用；其他回收站回收。废反渗透膜由厂家回收再利用，污水处理不含砷、铬污泥经压滤机压滤成泥饼外售至建材企业利用。废矿物油，含砷、锑锅底料，污水处理含砷、铬污泥，含砷、锑除尘灰，沾染砷、锑除尘灰滤料，酸洗塔底泥，混酸废塑料桶，三氧化铬废塑料桶，废掺杂剂玻璃瓶等危险废物按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及2013修改单的要求，分类分区暂存于危废贮存库内，危废贮存库面积约300m2，危废库内地面已做防渗处理并刷有环氧树脂漆，设有导流渠和收集池，危险废物定期交由有资质单位清运处置。本项目已与众为****公司签订了危废协议
较环评阶段，掺杂剂（硼磷锑）拆炉清扫废气由于车间设备布置无法将此废气接入DA003排气筒，此工序废气由新增的DA005排气筒排放。较环评阶段，待中水回用设施建设完成后，生产废水循环使用不外排，优于环评阶段；本次验收不包括中水回用设施。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目污染物总量控制指标：颗粒物2.6112t/a，氮氧化物0.00065t/a。你公司在项目实施过程中，要严格执行环境保护“三同时”制度。项目竣工后，按规定办理排污许可手续，开展竣工环境保护验收，具备相应条件后，项目方可正式投入运行。你公司开工前要及时**分局报送建设进度，**分局将对该项目的建设和运营期间进行日常监督检查工作。测试车间钢筋混凝土框架，1座56m×20m×19.65m，5层，占地面积为1165.96m2，建筑面积为6104.94m2。位于厂区北侧，为标准化厂房，用于二期工程建设。车间一钢筋混凝土框架，1座，尺寸105m×100m×15.515m，1层，占地面积为10505.25m2，建筑面积为10505.25m2。位于厂区西侧，为预留标准化厂房，用于二期工程建设。车间二钢筋混凝土框架，1座，尺寸75m×73.5m×15.515m，1层，占地面积为5514.25m2，建筑面积为5514.25m2。位于厂区西南侧，为预留标准化厂房，用于二期工程建设。大宗气体罐区1座位于厂区中部，占地面积1200m2，由6个30m3氩气槽罐，2个20m3氮气槽罐。主要用于单晶炉生产工艺。	根据本项目的验收监测结果，经计算全年各污染物排放量为颗粒物0.17704t/a，氮氧化物0.0006t/a，调试期间平均工况为95%，折算满工况下年排放总量为颗粒物0.186t/a，氮氧化物0.00063t/a。因此，本项目污染物排放总量符合总量指标要求。本项目严格执行环境保护“三同时”制度，并按照信息公开制度及时公开了本项目的相关内容。本项目已取得排污登记回执，已通过竣工环保验收。本项目在开工前及时****分局报送建设进度，我单位将接受各级生态环境执法部门的监督检查等工作。测试车间、车间一、车间二本次验收阶段未建设，为二期工程建设内容。大宗气体罐区位于厂区中部，罐区占地面积1200m2，包括2个30m3氩气槽罐、1个20m3氮气槽罐。主要用于单晶炉生产工艺。
测试车间、车间一、车间二未建设，为二期工程内容。较环评阶段减少4个氩气槽罐，1个氮气槽罐，可满足生产需求。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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0.186	0.186	0.186	0.186	/
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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	含砷生产废水预处理设施	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）	调节-碱性化学沉淀+树脂预处理后，****处理站处理	含砷生产废水预处理设施出口污染物总砷排放浓度均满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值
2	含铬生产废水预处理设施	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）	含铬酸洗清洗废水和酸雾喷淋废水经酸性还原、加碱调节、絮凝沉淀预处理工艺处理后，****处理站	含铬生产废水预处理设施出口污染物、总铬、六价铬排放浓度均满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值
3	废水总排口	《**省污水综合排放标准》（DB14/1928-2019）	循环冷却水循环使用不外排；喷淋废水、水环泵废水、酸洗废水，割断、滚**处理站园区污水管网处理厂处理；制纯水**处理厂处理。建设单位正在建设中水回用装置，待中水回用设施建设完成后，生产废水全部循环使用，不外排。本次验收不包括中水回用设施。厂区污水站处理工艺为调节+沉淀+A/SCBRⅡ。	废水总排口污染物全盐量排放浓度满足《**省污水综合排放标准》（DB14/1928-2019）水污染物排放限值；其他污染物排放浓度均满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中A等级标准限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	掺杂剂砷抽真空、拆炉、石墨件清理废气（DA001）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	掺杂剂为砷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵+2级喷淋塔处理，由1根30m高排气筒（DA001）排放；掺杂剂为砷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵处理，由1根30m高排气筒（DA001）排放；掺杂剂为砷废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理，由1根30m排气筒（DA001）排放	掺杂剂砷抽真空、拆炉、石墨件清理废气排气筒（DA001）出口颗粒物排放浓度为2.4-3.2mg/m3，排放速率为0.0193-0.0259kg/h，颗粒物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值，即颗粒物排放浓度≤120mg/m3，排放速率≤23kg/h。砷及其化合物排放浓度未检出，排放速率为7.68×10-8-8.02×10-8kg/h。
2	掺杂剂锑抽真空废气、石墨件清理废气（锑）（DA002）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	掺杂剂为锑单晶炉抽真空废气经过滤罐+真空泵+布袋除尘处理，由1根30m高排气筒（DA002）排放；掺杂剂为锑废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理,由1根30m排气筒（DA002）排放；	掺杂剂锑抽真空废气、石墨件清理废气（锑）排气筒（DA002）出口颗粒物排放浓度为4.0-4.9mg/m3，排放速率为0.0138-0.0167kg/h，颗粒物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值，即颗粒物排放浓度≤120mg/m3，排放速率≤23kg/h。锑及其化合物排放浓度未检出，排放速率为3.41×10-8-3.55×10-8kg/h。
3	掺杂剂抽真空废气掺杂剂（硼磷）、石墨件清理废气（硼磷）排气筒（DA003）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	掺杂剂为高阻磷、硼单晶炉抽真空废气经过滤罐+真空泵处理，由1根30m高排气筒（DA003）排放；掺杂剂为重掺磷单晶炉抽真空废气经过滤罐+水环泵处理，由1根30m高排气筒（DA003）排放；掺杂剂为硼、磷废气经集尘罩收集后经过滤罐+水环泵处理,由1根30m排气筒（DA003）排放；	掺杂剂抽真空废气掺杂剂（硼磷）、石墨件清理废气（硼磷）排气筒（DA003）出口颗粒物排放浓度为6.0-7.1mg/m3，排放速率为0.0328-0.0391kg/h，颗粒物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值，即颗粒物排放浓度≤120mg/m3，排放速率≤23kg/h。
4	酸洗废气排气筒（DA004）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	酸洗废气经一套酸雾净化处理设施处理，腐蚀槽和清洗槽设密闭收集罩，收集后利用酸雾喷淋塔处理，废气经处理后由1根30m排气筒（DA004）排放	酸洗废气排气筒（DA004）出口氮氧化物排放浓度未检出，排放速率为3.21×10-3-3.28×10-3kg/h；氟化物排放浓度为0.04-0.06mg/m3，排放速率为8.52×10-5-1.27×10-4kg/h；铬酸雾排放浓度未检出，排放速率为3.15×10-6-3.24×10-6kg/h；氮氧化物排放浓度和排放速率、氟化物排放浓度和排放速率、铬酸雾排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值，即氮氧化物排放浓度≤240mg/m3，排放速率≤4.4kg/h；氟化物排放浓度≤9mg/m3，排放速率≤0.59kg/h；铬酸雾排放浓度≤0.07mg/m3，排放速率≤0.043kg/h。
5	掺杂剂（硼磷锑）拆炉清扫废气排气筒（DA005）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	掺杂剂为磷、硼、锑的废气经各自过滤罐后通过管道汇入一套水环泵处理，由1根27m排气筒（DA005）排放，新增的排气筒为一般排放口	掺杂剂（硼磷锑）拆炉清扫废气排气筒（DA005）出口颗粒物排放浓度为2.6-3.1mg/m3，排放速率为0.0026-0.00336kg/h，颗粒物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值，即颗粒物排放浓度≤120mg/m3，排放速率≤17.9kg/h。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

产噪设备

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

项目选用低产噪设备，置于全封闭车间内，高产噪设备采取厂房隔声、基础减振等措施，厂区采取绿化降噪措施

监测期间厂界噪声范围昼间为57-58dB（A），夜间为47-48dB（A），均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

根据《********基地项目环境影响报告书》要求需要对地下水进行监测

厂区西侧东万寿村30m深水井进行监测

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

厂区设有垃圾箱收集后定期清运至环卫部门指定地点处理；废石英坩埚、废石墨件暂存厂区一般固废库内，由厂家回收；锅底料、头尾料、边角料、单晶硅棒晶体检验工序产生的不合格产品全部外售至当地太阳能电池制造企业；建设1座300m2危废暂存间，定期交由有资质单位处置

厂区设置分类垃圾桶，收集后定期送至环卫部门指定地点统一清运处置；废石英坩埚、废石墨件集中收集后，在厂区一般固废库内暂存由厂家统一回收；锅底料、头尾料、边角料、单晶硅棒晶体检验工序产生的不合格产品全部外售至当地太阳能电池制造企业；在厂区设置1座面积为300m2危废贮存库，危险废物暂存至危废贮存库内，定期交由有资质单位处置。本项目与**众为****公司签订了危废协议

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程