招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 10kW MPCVD设备 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-09-23 17:39:01 | 公告截止日期
2026-09-29 18:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
合同签订后付款24万元,验收合格后付款4万元 |
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签订合同后30个工作日内 |
预算总价
| ¥299000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
|
收货地址
| ****大学西路235号 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 10kW MPCVD设备 |
1 |
台 |
真空应用设备 |
品牌
| 征惟半导体 |
型号
| ZWMD-0110-10 kW |
预算单价
| ¥ 299000.00 |
技术参数及配置要求
| 1. 设备型号:ZWMD-0110(不包括微波电源) 2. 微波工作模式:TM012+TM021 多模设计; 3. Horiba质量流量计;系统标配5路MFC,5路MFC最大流速:H2: 1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:10sccm,Ar:50sccm; 4. 采用FLUKE高精度红外测温仪,测温范围 250~1400℃; 5. 极限真空1Pa (7.5×10-4Torr);真空漏气率:0.01-0.05Pa/min,氦质谱检测仪<9.0*10 -10 Pam3 /s; 6. 钼台直径80mm,送直径80MM钼台; 7. 五路进出铝合**排; 8. 客户定制全自动西门子PLC,可兼容客户提供分子泵; 9. ZWMD0110碟形腔(新型),等离子体直径3-4in,等离子球均匀与反应腔体的对心性好; 10. 免费提供金刚石单晶/白钻生长工艺,并提供验收指标; 11. 设备适配用户指定微波电源型号; 12. 开具13.0%的增值税专用发票。 |
参考链接
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售后服务
| 技术支持:7x24小时;保修期:终身;质保期:一年;是否含税:国产含税; |