关于内蒙古大学10kW MPCVD设备网上竞价公告

发布时间: 2026年09月23日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
10kW MPCVD设备****
2026-09-23 17:39:012026-09-29 18:00:00
****合同签订后付款24万元,验收合格后付款4万元
签订合同后30个工作日内
¥299000.00
****大学西路235号

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
10kW MPCVD设备 1 台 真空应用设备
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
征惟半导体
ZWMD-0110-10 kW
¥ 299000.00
1. 设备型号:ZWMD-0110(不包括微波电源) 2. 微波工作模式:TM012+TM021 多模设计; 3. Horiba质量流量计;系统标配5路MFC,5路MFC最大流速:H2: 1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:10sccm,Ar:50sccm; 4. 采用FLUKE高精度红外测温仪,测温范围 250~1400℃; 5. 极限真空1Pa (7.5×10-4Torr);真空漏气率:0.01-0.05Pa/min,氦质谱检测仪<9.0*10 -10 Pam3 /s; 6. 钼台直径80mm,送直径80MM钼台; 7. 五路进出铝合**排; 8. 客户定制全自动西门子PLC,可兼容客户提供分子泵; 9. ZWMD0110碟形腔(新型),等离子体直径3-4in,等离子球均匀与反应腔体的对心性好; 10. 免费提供金刚石单晶/白钻生长工艺,并提供验收指标; 11. 设备适配用户指定微波电源型号; 12. 开具13.0%的增值税专用发票。
技术支持:7x24小时;保修期:终身;质保期:一年;是否含税:国产含税;

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