1.观察线视场最大大于15mm,最小小于2mm
2.观察方向:竖直、水平
3.含真空吸附功能,样品台宽度小于10mm
4.温度控制范围:10-40℃
5.样品台调节维度:xy 平面旋转、高度、前后位置,各维度可调行程大于15mm,各维度精度小于0.0005mm