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真空表面处理装置 (XJD2026092300030) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年09月24日

标书代写官方

摘要信息

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表面处理采购公告

招标详情

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真空表面处理装置 (****) 采购公告

发布时间：2026-09-24 09:59:20

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

真空表面处理装置	****
2026-09-24 09:59:20	2026-09-27 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	发布竞价结果后30天内送达
	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

真空表面处理装置

1.00

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

技术要求： 1.采用SUS304不锈钢制造，尺寸≥400mm（宽）x 400mm（深）x 450mm（高），带圆形观察窗≥1个（提供设计图或实物图佐证），真空腔室内部镜面+电解抛光，半导体级清洗，前开门结构（提供腔室真空状态下腔内分析检验数据佐证）； 2.极限真空优于5.O×10-5Pa(从大气抽到8x10-4Pa＜25min)；（提供彩页或数据证明图佐证）； 3.内部逻辑：3.3V/5V 逻辑兼容，跳线选择触发电平；5V 单通道：2μs±1μs；3V 单通道：2μs±1μs 4.外部电平：3.3V 12V 宽范围，开漏输出架构 5.配备阴极靶枪≥4个，共焦溅射，靶枪倾斜角度可调直流溅射电源≥1台，射频RF电源≥2台，频率13.56MHz； 6.响应速度：微秒级开关动作；通道间同步时延：＜20ns 7.控制接口：RS485 总线，PC 上位机远程指令控制输出通断 8.最大可实现4英寸衬底沉积工作，兼容4英寸以下尺寸进行沉积工作，满足衬底等离子体前处理需求，衬底最高加热温度需达800°C以上(控温精度＜5°C)；（提供彩页或数据证明图佐证）； 9.衬底转速至少在1-30rpm范围内连续可调；转速及距离电动连续可调，可实现对样品的原位处理，去除有机残留物质，改善样品的致密性。 10.分子泵≥1台，抽速：抽速＞1000 L/S，Ar压缩比＞1×108；前级干泵≥1台，抽速＞30m3/h；在分子泵前段配备阻隔组件，可做吸附处理，减少材料对泵污染，可满足不停泵破真空开腔室门 11.采用PLC+工控机控制系统，可实现自动一键式抽真空，可实现多端口操控功能。可匹配不同权限；具备自动工艺设置功能，要求具备报警信息、参数设置、工艺设置、镀膜控制、真空控制相关功能模块；设备工作时蜂鸣器有无报警及报警信息区有无报警信息，正常无报警时蜂鸣器不会响。如报警发生时应停止工作，排除故障后使用设备；（提供控制功能界面截图佐证） 12.可视化功能：传感器测量精度：±1.1℃，or±0.4%，测温范围：常温-900℃（高温可定制），能实现实时可视化观测样品变化过程，并自动生产相关报告 13.软件需具备编辑和改动Recipe功能，需具备Event Data log存储备份功能。

商务要求： 1. 交货时间：合同生效后30天交付地点：******校区西五楼 2. 质保期：验收合格后1年售后服务：货物供货应涵盖产品及配套包装、物流运输、现场安装调试、货物验收、专业用户培训，同时包含售后故障应急响应服务等，产品的制造和检测应均符合国家标准。限本地**供应商，2小时上门服务。原厂工程师培训，需提供原厂授权书。 3. 付款方式：货到验收合格付全款。