杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)2026年9月政府采购意向

发布时间: 2026年09月24日
摘要信息
招标单位
招标编号
招标估价
招标联系人
招标代理机构
代理联系人
报名截止时间
投标截止时间
招标详情
下文中****为隐藏内容,仅对千里马会员开放,如需查看完整内容请 或 拨打咨询热线: 400-688-2000
相关单位:
***********公司企业信息

为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将********大学****学院)2026年9月采购意向公开如下:

采购单位 ********大学****学院)
采购项目名称 深反应离子刻蚀系统
预算金额(元) ****000.00
预留中小企业采购份额 否
落实政府采购政策功能情况 落实政府采购相关政策
预计采购时间 2026年10月
采购需求概况

标的名称:深反应离子刻蚀系统
数量/单位:1
预算金额(元):****000.00

采购目录:A****2402真空应用设备

需实现的主要功能或者目标:实现大深宽比的垂直沟槽、通孔及腔体结构高精度刻蚀工艺,深宽比不低于20:1,刻蚀速率不低于3 μm/min,适配8英寸标准硅晶圆及碎片样品。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求: 产品须满足国家相关标准与技术参数要求。;供应商应结合现场空间开展针对性布局设计与优化,完成产品供货、安装及调试。; (1)系统需提供完备的报警和安全互锁功能。
(2)当互锁被触发时,系统需处于报警状态,并带有声音提示。在安全级别较高的互锁条件或自动模式下触发互锁后,工艺需自动终止。互锁功能在手动模式下需同样生效。
(3)工艺异常后需立即终止工艺,关闭射频电源,关闭全部气路阀门,隔离腔室。
(4)当紧急情况发生时,可以通过EMO回路紧急停止设备,减少人员设备伤害。; 合同签订之日起3个月内完**装。。


联系人 曹志强
联系电话 132****5615
备注 /

********大学****学院)

2026年09月24日




本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 标书代写





招标进度跟踪
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询~