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为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将****2026年9月采购意向公开如下:
| 采购单位 | **** |
| 采购项目名称 | 低压化学气相沉积系统 |
| 预算金额(元) | ****000.00 |
| 预留中小企业采购份额 | 是 |
| 落实政府采购政策功能情况 | 落实政府采购相关政策 |
| 预计采购时间 | 2026年10月 |
| 采购需求概况 | 标的名称:低压化学气相沉积系统 采购目录:A****2402真空应用设备 需实现的主要功能或者目标:实现氮化硅薄膜沉积、氧化硅薄膜沉积及热氧化工艺,要求性能稳定、工艺精度较高,满足半导体相关器件科研样品制备及工艺开发需求,适配8英寸及4英寸晶圆的批量处理。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求: 产品须满足国家相关标准与技术参数要求。;供应商应结合现场空间开展针对性布局设计与优化,完成产品供货、安装及调试。; 符合相关标准、规范。; 合同签订之日起3个月内完**装。。 |
| 联系人 | 曹志强 |
| 联系电话 | 132****5615 |
| 备注 | / |
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2026年09月24日