白光干涉仪光采购采购结果公告

发布时间: 2026年09月26日
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申购单主题: 白光干涉仪光采购
申购备注: 需开具增值税专用发票、提供详细参数的盖章报价单。
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型
白光干涉仪 优可测 AM-230R 1 国内含税价/人民币
售后服务 1.免费保修期:货物免费保修期1年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。 2.维修响应及故障解决时间:在保修期内,一旦发生质量问题,销售方保证到现场修理或更换。
规格 1、配置要求 1.1 光源:白光光源,中心波长为520nm的绿光波段,绿色光斑可视; 1.2 影像系统:有效像素230万,单幅图像横纵测量点数分别满足1920×1200; 1.3 Z轴最大扫描速度400um/s; 1.4 扫描频率:169-3200Hz; 1.5 测量原理:白光干涉,至少包含三种工作模式:垂直扫描干涉测量模式(VSI)、相移涉测量模式(PSI)、相位展开模式; 1.6 Z轴扫描装置:必须包含闭环反馈压电陶瓷材料扫描器(PZT); 1.7 物镜参数: 倍率 100X 工作距离/mm 2 1.8 位移台倾斜调整≥±5°; 2、技术指标 2.1 垂直分辨率:0.03nm(基于STR(形貌重复性)现场验证); 2.2 粗糙度RMS重复性:0.005nm; 2.3 台阶高测量准确度:0.5%,1σ台阶测量重复性:0.09%; 2.4 Z向单次测量扫描范围:4960um; 2.5 被测物反射率:最低反射率要求可达0.02%,0.02%-100%; 2.6 仪器重量:不高于35kg。 3、功能要求 3.1 扫描系统支持扫描速度、曝光时间、增益、亮度等的调节; 3.2 扫描日志可视,能清楚分析单次扫描时间或者扫描过程中的问题报告; 3.3 具备单区域测量功能,切换样件手动对焦后可完成表面形貌的扫描与3D重建; 3.4 满足具备相移干涉(PSI)、连续扫描(VSI)等多种扫描模式和相位展开模式,扫描光滑表面(如玻璃表面)和粗糙表面(如金属表面); 3.5 必须包含测量分析软件,Mountainsmap软件优先; 3.6 具备校平、去噪、滤波、可按照球面、圆柱面、按照固定半径球面/固定半径圆柱面进行去除形状,并且还可进行最多可达12次项的多项式去除形状; 3.7 具备粗糙度、台阶高度、表面积、面积、体积分析功能,可输出Adev等参数; 3.8 测量系统内置有ISO25178/ISO4287的粗糙度标准,包含涉及粗糙度评价的Sa/Ra、Sq/Rq、Sz/Rz参数; 3.9 具备测量结果的报表导出功能,可将测量结果中的3D图像、平面图像、轮廓曲线、参数数值导出到Excel、Word、Pdf格式文件中,文件可自定义命名; 3.10 具备点云数据的导出,可将3D图像、轮廓曲线的点云数据一键导出,导出文件格式包括:TXT、SUR、MAP、NMS等。
中标供应商 单价 初选理由
**** 438000 最低价原则
招标进度跟踪
2026-09-26
中标通知
白光干涉仪光采购采购结果公告
当前信息
2026-09-21
招标公告
白光干涉仪光采购采购公告
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