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全自动单片湿法清洗及刻蚀系统
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zycgr210****12026年10月政府采购意向-全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 详细情况
| 全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****12026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****0801 |
| 采购项目名称： | 全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 |
| 预算金额： | 12320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
拟采购4套，满足量子芯片处理器工艺中的湿法前处理、颗粒物清洗等多种需求，可实现湿法清洗（SPM、RCA、SC1、SC2）及刻蚀（金属、介质薄膜等）、预浸泡、湿法去胶等功能，实现全自动单片湿法清洗及刻蚀，避免交叉污染，提升迭代速度，适配每天 30-60 片的处理需求
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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