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集成电路学院半导体信息材料与器件团队高真空蒸发镀膜设备采购项目竞价成交公告

结果-中标通知

广东 -东莞

发布时间： 2026年09月28日

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摘要信息

中标单位

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关键信息

集成电路学院半导体器件真空蒸发镀膜设备

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

****采用网上竞价方****学院****学院）半导体信息材料与器件团队高真空蒸发镀膜设备采购项目，项目编号：****，报价截止时间为2026-09-24 16:00:00。现将本项目竞价结果公布如下：一、项目编号：****二、项目名称：****学院半导体信息材料与器件团队高真空蒸发镀膜设备采购项目三、项目预算：90000元四、成交信息供应商名称：****供应商地址：**市**区庙山大道九号****基地18号楼101-201室成交金额：87000元五、竞价成交规则在满足用户需求的前提下，按“价低者得”原则确定成交供应商。报价相同的，按参数最优者确定；报价相同且参数相同的，按报价时间先后顺序确定。六、竞价供应商报价明细及总报价

序号：1供应商名称：****总价：87000元报价时间：2026-09-22 16:35:42

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	高真空蒸发镀膜设备	普迪真空PD-200I	1/台	87000	304不锈钢真空腔体，门上配观察窗，镀膜室内净尺寸约为：直径 260xH400mm，预留膜厚仪接口；中科科仪脂润滑分子泵 300L/S+直联旋片泵 BSV16+高真阀门；“一低一高”数显复合真空计；真空极限优于 5×10-5Pa，从大气抽至 5×10-4Pa≤30min；最大可镀基片尺寸/面积：100x100mm 范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。样品台水冷，高度可调。配备 2 对 4 根水冷蒸发电极；1 台 2KW金属蒸发电源。PLC+触摸屏手自动控制；对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。电压：AC220V/50HZ 功率：3.5KW

序号：2供应商名称：******公司总价：88800元报价时间：2026-09-23 10:56:30

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	高真空蒸发镀膜设备	普迪真空PD-200I	1/台	88800	304不锈钢真空腔体，门上配观察窗，镀膜室内净尺寸约为：直径 260xH400mm，预留膜厚仪接口；中科科仪脂润滑分子泵 300L/S+直联旋片泵 BSV16+高真阀门；“一低一高”数显复合真空计；真空极限优于 5×10-5Pa，从大气抽至 5×10-4Pa≤30min；最大可镀基片尺寸/面积：100x100mm 范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。样品台水冷，高度可调。配备 2 对 4 根水冷蒸发电极；1 台 2KW金属蒸发电源。PLC+触摸屏手自动控制；对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。电压：AC220V/50HZ 功率：3.5KW

序号：3供应商名称：武****公司总价：89500元报价时间：2026-09-22 17:04:20

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	高真空蒸发镀膜设备	普迪真空PD-200I	1/台	89500	304不锈钢真空腔体，门上配观察窗，镀膜室内净尺寸约为：直径 260xH400mm，预留膜厚仪接口；中科科仪脂润滑分子泵 300L/S+直联旋片泵 BSV16+高真阀门；“一低一高”数显复合真空计；真空极限优于 5×10-5Pa，从大气抽至 5×10-4Pa≤30min；最大可镀基片尺寸/面积：100x100mm 范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。样品台水冷，高度可调。配备 2 对 4 根水冷蒸发电极；1 台 2KW金属蒸发电源。PLC+触摸屏手自动控制；对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。电压：AC220V/50HZ 功率：3.5KW

七、公告期限自本公告发布之日起1个工作日。八、合同签订成交供应商应在竞价成交公告发布之日起3个工作日内，按照竞价成交公告确定的品牌、型号、技术服务指标、价格、数量、交货期限等事项，参照校方合同模板与采购人协商合同事宜。九、其他补充事宜无十、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：张老师地址：****大学路1号****联系方式：136****07542.项目联系方式项目联系人：陈老师电话：0769-****1688、0769-****1802