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电子束曝光系统
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***********公司企业信息
****2026年10至11月政府采购意向-电子束曝光系统 详细情况
| 电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统 |
| 预算金额： | 1450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
标的需求： (1)电子光学系统:采用肖特基热场发射电子束源，电子枪平均寿命不低于8000-12000小时;加速电压:50kv；束流范围:300 pA到40 nA，连续可调； (2)偏转系统及图形发生器:图形发生器最大扫描频率为不小于50MHz,50kV下，最大写场不小于1000um，且写场大小连续可调； (3)激光干涉工作台及进料室:工作台最大运动行程不小于150mmx150mm:激光干涉仪分辨率不大于1nm; (4)软件及自动化:可实现全自动设置和操作，包括电子枪预热、对焦调整、像散调整、偏转校正、自动上下换片等。
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| 预计采购时间： | 2026-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-09-29
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