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| 晶体生长区熔炉 | ******公司 | 387000.00 | 按行业标准提供服务 | 一、炉体腔体系统 1. 腔体结构:卧式双层水冷不锈钢真空筒体,快开法兰门,筒体侧面预留多组观测口、测温口、馈入接口;材质 304/316L 不锈钢,防卤素腐蚀。 2. 炉腔内尺寸:Φ600 mm × 1200 mm(筒体有效长度) 3. 水冷系统:夹层循环水冷,进水温度≤30℃,冷却水压力 0.2~0.4 MPa;保护外壁温度<45℃。 4. 漏率指标:系统静态漏率 ≤ 0.6 Pa●m3/h 二、真空与气氛控制系统 1. 极限真空:冷态极限真空 ≤5×103 Pa;工作真空:1×10-5 Pa 2. 抽气机组:分子泵组 + 旋片机械泵,带防腐冷阱,抑制碘蒸气腐蚀泵体 3. 气氛工况:可抽真空,也可充高纯氩气(99.999%)保护;极限真空105恒压自动稳压 4. 气路:多路质量流量控制器 MFC,精准控制保护气体流量,带尾气收集处理单元(针对碘蒸汽) 三、加热与温控系统 1. 最高工作温度:1500 ℃; 2. 加热方式:多段独立电阻加热区(区熔移动熔区),石墨 / 贵金属加热元件,抗卤素腐蚀保温层,首选进口石墨材料。 3. 控温精度:稳态控温精度 ±0.1 ℃;详细参数见附件 | 1.0台 | 蓝德/NBDHQR-200型 | 387000.00 | **** |