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上海大学2026年10月政府采购意向
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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2026年10月政府采购意向 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 标书代写
| 1 | 高精度紫外光刻系统 | 需要采购一套高精度紫外光刻系统，主要技术参数包括：1）UV-LED，210×210mm，365/405/435nm，能量≥120mW/cm2，均匀≤2.5%；2）正/背/红外对准±0.5/1/5μm，X/Y 5±0.5mm，θ3±0.2°；3）真空/硬/软/接近曝光，分辨率1~3μm；4）晶圆真空吸附，掩膜5/7/9寸，自动找平、预对位、套刻。 | ****000.00 | 2026-10 |
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2026-09-29
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