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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0000MB1D22326T | 建设单位法人:卢柯 |
| 张庸 | 建设单位所在行政区划:**省**市**区 |
| **省**市**区全运路109-1号 |
| ********研究所建设项目 | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别(国民经济代码):M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点: | **省**市**区 全运路109-1号 |
| 经度:123.****21944 纬度: 41.****66388 | ****机关:沈****分局 |
| 环评批复时间: | 2023-12-18 |
| 沈环**审字〔2023〕54号 | 本工程排污许可证编号:无 |
| 项目实际总投资(万元): | 4500 |
| 37.5 | 运营单位名称:**** |
| ****0000MB1D22326T | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| ****0000MB1D22326T | 验收监测单位:**市****公司 |
| ****0113MA0P51958J | 竣工时间:2026-05-19 |
| 2026-05-20 | 调试结束时间:2026-11-20 |
| 2026-08-27 | 验收报告公开结束时间:2026-09-23 |
| 验收报告公开载体: | **建设项目环境信息公示平台 |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 项目年实验二氧化硅基片4000份,蓝宝石基片1000份。 | 实际建设情况:项目年实验二氧化硅基片4000份,蓝宝石基片1000份。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 手工切割-等离子清洗-转印-曝光胶旋涂、曝光-显影-刻蚀-蒸镀-剥离-电学测量 | 实际建设情况:手工切割-等离子清洗-转印-曝光胶旋涂、曝光-显影-刻蚀-蒸镀-剥离-电学测量 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| (1)废气:主要为转印、曝光胶旋涂、曝光、显影、剥离等工序产生的挥发性有机物,刻蚀工序产生的氟化物。项目有机试剂原料均为单独密闭式瓶装贮存,实验过程在通风橱内进行,有机废气经各密闭通风橱内吸风罩引入密闭式管道收集至二级活性炭吸附装置处理,再统一由17m高DA001排气筒排放。刻蚀工序原料为单独密闭式钢瓶贮存,使用及输送均为密闭真空条件,实验结束后气体经密闭式管道引至碱液吸收装置处理,未吸收废气经密闭管道引至17m高DA001排气筒排放。 (2)废水:主要为生活污水、纯水制备过程产生的浓水、反冲洗废水及地面清洗废水等。项目废水经化粪池处理后通过市政管网****处理厂集中处理。 (3)噪声:采取选用低噪声设备、基础减震、建筑隔声等措施。 (4)固体废物:边角废料、生活垃圾由环卫部门统一清运,废纯水过滤介质由厂家回收综合利用。实验废液、碱喷淋废液、废试剂瓶、废活性炭、含有机物边角废料、废铝箔纸及废弃手套、口罩、头套等危险废物分类收集后,分区暂存于危险废物贮存点内,定期委托有资质的单位处理。 | 实际建设情况:(1)废气:刻蚀工序原料为单独密闭式钢瓶贮存,使用及输送均为密闭真空条件,实验结束后气体经密闭式管道引至碱液吸收装置处理,未吸收废气经密闭管道引至17m高DA001排气筒排放。项目有机试剂原料均为单独密闭式瓶装贮存,实验过程在通风橱内进行,有机废气经各密闭通风橱内吸风罩引入密闭式管道收集至二级活性炭吸附装置处理,再统一由17m高DA002排气筒排放。 (2)废水:主要为生活污水、去离子水再生废水、地面清洁废水及纯水制备浓水等。项目废水经化粪池处理后通过市政管网****处理厂集中处理。 (3)噪声:采取选用低噪声设备、基础减震、建筑隔声等措施。 (4)固体废物:边角废料、生活垃圾由环卫部门统一清运,废纯水过滤介质由厂家回收综合利用。实验废液、碱喷淋废液、废试剂瓶、废活性炭、含有机物边角废料、废铝箔纸及废弃手套、口罩、头套等危险废物分类收集后,分区暂存于危险废物贮存点内,定期委托有资质的单位处理。 |
| (1)原环评所有有机试剂原料为单独密闭式瓶装贮存,实验过程在通风橱内进行,经密闭通风橱内的吸风罩通过密闭式管道收集至二级活性炭吸附装置处理后,再统一经DA001排放口有组织排放。原料为单独密闭式钢瓶贮存,使用及输送均为密闭真空条件,实验结束后气体经密闭式管道引至碱液吸收装置处理,吸收效率85%。未吸收废气经密闭管道引至楼顶排放口DA001有组织排放。 实际建设中刻蚀工序原料为单独密闭式钢瓶贮存,使用及输送均为密闭真空条件,实验结束后气体经密闭式管道引至碱液吸收装置处理,未吸收废气经密闭管道引至17m高DA001排气筒排放。项目有机试剂原料均为单独密闭式瓶装贮存,实验过程在通风橱内进行,有机废气经各密闭通风橱内吸风罩引入密闭式管道收集至二级活性炭吸附装置处理,再统一由17m高DA002排气筒排放。 废气排放口由1根调整为2根。项目污染物产生量未增加,废气收集方式、治理工艺及处理效率未发生弱化,新增DA002排气筒属于一般排放口,不属于新增主要排放口;根据验收监测数据可知,挥发性有机物(以非甲烷总烃计)、氟化物排放浓度及速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准要求,污染物排放总量未超出环评批复核定值,因此本次调整不属于建设项目重大变动。 (2)本项目环评中废水分析包括反冲洗废水,企业实际建设后去离子再生废水包括反冲洗废水、再生废液、正洗废水,仅将原环评中反冲洗废水细化为反冲洗废水、再生废液、正洗废水,属产污环节分类细化,未新增工序与污染物种类,实际废水总产生量小于环评预计量,废水治理措施、排放去向、受纳水体均与原环评一致,不会导致污染物排放量增加,不属于重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| 无 | 实际建设情况:无 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0.0398 | 0 | 0 | 0 | 0.04 | 0.04 | |
| 0 | 0.0083 | 0.026 | 0 | 0 | 0.008 | 0.008 | |
| 0 | 0.0006 | 0.0026 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | |
| 0 | 0.0001 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0.0015 | 0 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | |
| 0 | 390.9 | 0 | 0 | 0 | 390.9 | 390.9 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.013 | 0.105 | 0 | 0 | 0.013 | 0.013 | / |
| 0 | 0.0001 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | 化粪池 | 《**省污水综合排放标准》(DB21/1627-2008)、《污水综合排放标准》(GB8978-1996) | 项目废水经化粪池处理后通过市政管网****处理厂集中处理。 | 根据验收监测数据,项目实际运行期间,废水排放满足《**省污水综合排放标准》(DB 21/1627-2008)表2****处理厂的水污染物最高允许排放浓度标准(SS 300mg/L、CODCr 300mg/L、BOD5250mg/L、氨氮30mg/L、总磷5mg/L、氯化物1000mg/L),pH值排放满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4排放限值要求(pH值 6-9)。 |
| 1 | 碱液吸收装置 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 刻蚀工序原料为单独密闭式钢瓶贮存,使用及输送均为密闭真空条件,实验结束后气体经密闭式管道引至碱液吸收装置处理,未吸收废气经密闭管道引至17m高DA001排气筒排放。 | 根据验收监测数据,氟化物排放满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准要求(最高允许排放速率0.064kg/h、最高允许排放浓度9.0mg/m3)。 | |
| 2 | 二级活性炭吸附装置 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 项目有机试剂原料均为单独密闭式瓶装贮存,实验过程在通风橱内进行,有机废气经各密闭通风橱内吸风罩引入密闭式管道收集至二级活性炭吸附装置处理,再统一由17m高DA002排气筒排放。 | 根据验收监测数据,挥发性有机物(以非甲烷总烃计)排放满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准要求(最高允许排放速率6.4kg/h、最高允许排放浓度120mg/m3)。 | |
| 3 | 无组织废气 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019) | 本项目所有实验用有机试剂均为密闭容器盛装,并均放置在室内危化防爆柜内。所有刻蚀用气体均为密闭钢瓶盛装,并放置在室内气体防爆柜内。 | 根据验收监测数据,厂界无组织废气非甲烷总烃和氯化物满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中相关排放限值要求(非甲烷总烃4mg/m3、氟化物20μg/m3);实验室门/窗外非甲烷总烃排放满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)表 A.1 特别排放限值(监控点处1h平均浓度值6mg/m3、监控点处任意一次浓度值20mg/m3)。 |
| 1 | 低噪声设备 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | 本项目采取选用低噪声设备、基础减震、建筑隔声等措施。 | 根据验收监测数据可知,厂界噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)1类标准。 |
| 1 | 设置一般固废暂存间及危废贮存点 | 已按要求建设 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |