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离子枪及残余气体分析配套系统（清采比选20261304号）采购公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 离子枪及残余气体分析配套系统 | 项目编号**** | |
| 2026-09-29 20:07:37 | 公告截止日期2026-10-09 21:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后50%，到货验收合格后50% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个自然日内 | |
| ￥ 200000.00 | ||
| **市****物理楼B303 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单
| 离子枪及残余气体分析配套系统 | 1 | 台 |
| ￥ 200000.00 |
| 离子枪：安装法兰 CF35；离子能量范围 0.12–5 keV；工作距离 30 mm 时电流密度 >120 μA；最高烘烤温度 250 ℃；工作压力范围 \(10^{-5}\sim10^{-6}\) mbar。 残余气体分析仪：质量范围 1–100 amu；检测极限 \(5\times10^{-14}\) Torr；支持 RS232 通讯。 微漏阀：腔体侧 CF35、气体侧 CF16；压力调节范围 1 bar–\(10^{-11}\) Torr；控制泄漏率约 \(1.33\times10^{-9}\) mbar﹒L/s。 氩气及洗气气路：包含 CF35 全金属角阀、内抛光波纹管及转接接头；系统漏率 <\(1.0\times10^{-11}\) mbar﹒L/s。 |
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