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超高分辨光阻膜层检测装置
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3500000.00
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***********公司企业信息
****2026年10月政府采购意向-超高分辨光阻膜层检测装置 详细情况
| 超高分辨光阻膜层检测装置 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 超高分辨光阻膜层检测装置 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
超高分辨光阻膜层检测装置1套，用于光刻胶样品的超高分辨形貌观察和化学组分分析，支持可见及红外物镜；科研级相机，电动样品台XY移动范围：不小于75 mm×75mm，波长范围覆盖1860 ~ 770 cm-1，XY扫描范围：不小于80 μm × 80 μm, 噪音< 0.1 nm，Z向扫描范围≥12 μm, 噪音< 0.05 nm，带电磁屏蔽罩的主动隔振系统。供货周期2个月，质保2年。
|
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-30
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