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高精度紫外光刻系统
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***********公司企业信息
****2026年10月政府采购意向-高精度紫外光刻系统 详细情况
| 高精度紫外光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高精度紫外光刻系统 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
需要采购一套高精度紫外光刻系统，主要技术参数包括：1）UV-LED，210×210mm，365/405/435nm，能量≥120mW/cm2，均匀≤2.5%；2）正/背/红外对准±0.5/1/5μm，X/Y 5±0.5mm，θ3±0.2°；3）真空/硬/软/接近曝光，分辨率1~3μm；4）晶圆真空吸附，掩膜5/7/9寸，自动找平、预对位、套刻。
|
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-30
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