开启全网商机
登录/注册
薄膜器件工艺服务
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
****2026年10月政府采购意向-薄膜器件工艺服务 详细情况
| 薄膜器件工艺服务 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 薄膜器件工艺服务 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
C****0300
|
| 采购需求概况 ： |
用于纤锌矿铁电材料生长，包含ALD、磁控溅射、快速退火炉、椭偏仪。纤锌矿铁电材料的示范验证必须与晶圆厂**，而目前具备先进制程的晶圆厂主流为12英寸设备，因此必须拉齐前后道的样片尺寸规格。该设备用于12英寸晶圆纤锌矿铁电介质层薄膜沉积。该工艺为存储芯片制备流程关键环节。高质量薄膜沉积：精确调控溅射功率、气压与衬底温度，实现高c轴择优取向与高结晶质量，用于**纤锌矿铁电材料（如AlScN）的外延生长与制备。极速热过程控制：可提供极高升降温速率，有效抑制非铁电杂相形核，用于纤锌矿铁电薄膜的结晶优化、界面接触改善及铁电极化性能提升。椭偏仪能精确测量薄膜厚度与光学常数（折射率n、消光系数k），用于纤锌矿铁电薄膜的厚度监控与光学性质评估，辅助优化溅射与退火工艺参数。
|
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-30
招标预告
薄膜器件工艺服务
当前信息
标书代写
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
