聚焦电子束离子束双束显微镜

发布时间: 2026年09月30日
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****2026年9至12月政府采购意向-聚焦电子束离子束双束显微镜 详细情况
聚焦电子束离子束双束显微镜
项目所在采购意向: ****2026年9至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 聚焦电子束离子束双束显微镜
预算金额: 470.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
1. 聚焦电子束离子束双束显微镜主机 1.1 场发射电子枪 加速电压范围:最大≥35 kV,最小≤20 V; 分辨率:≤0.9 nm@15 kV, ≤1.6 ****@1.0 kV;共焦点分辨率:≤1.5 nm@15 kV, ≤10.0 ****@1.0 kV; 束流大小:最小值≤1pA,最大值≥20 nA; 1.2 镓离子聚焦离子束镜筒 加速电压范围:最大≥30kV,最小≤500V; 分辨率:≤3 nm @ 30 kV; 2. 配件 2.1 辅助气体注入-Pt、C; 2.2 样品快速交换仓; 2.3 四轴纳米操控系统; 2.4 电子束曝光系统;
预计采购时间: 2026-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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