晶圆传输机械手（SZTUWSJJ2600337）采购公告

项目名称

晶圆传输机械手

项目编号

****

公示开始日期

2026-10-08 11:13:07

公示截止日期

2026-10-12 12:00:00

采购单位

****

付款方式

合同签订并收到发票后10个工作日内，支付合同总价50%的款项。验收合格后，采购人支付合同总价50%的款项

履约保证金

采购合同金额的5%

（以保函方式或采购人（买方）可以接受的其他非现金形式提交，项目服务期满之后，经验收合格后，在30天内办理解除履约担保手续。采购人逾期退还履约保证金的，向中标人每日偿付履约保证金的0.1‰的利息，但因中标人自身原因导致无法及时退还的除外。）

联系人

中标后在我参与的项目中查看

联系电话

中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后10工作日

到货时间要求

签约后60个自然日

预算

￥ 280,000

供应商资质要求

不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动 (必选)标书代写

收货地址

****学院601实验室

采购物品

采购数量

计量单位

所属分类

晶圆传输机械手

1

套

工业机器人

预算

￥ 280,000

技术参数

1、片位中心距：≥490mm；
2、晶圆尺寸：8寸或者12寸；
3、负载：≤0.5Kg；
4、末端执行器：形状双叉型、陶瓷材质、数量≥2个；
5、机械手类型：大气;
6、外露材质：铝合金；
7、重复精度：
-R1轴：±0.1 mm(3σ)
-R2轴：±0.1 mm(3σ)
-θ轴：±0.1 mm(3σ)
-Z轴：±0.1 mm(3σ)
8、夹持方式：VACUUM；
9、EE形式：I型；
10、机械手回转空间：1000*1000见方；
11、Z轴行程：≥330mm；
12、伸出距离：≤860mm；
13、运动范围：
-R1轴：>820mm
-R2轴：>820mm
-θ轴：0~350°
-Z轴：330mm
14、机器人回转半径：≤425mm；
15、交换时间：
- R轴：＜1s（由原点伸出至800mm）
-θ轴：1s/180°
- Z轴：1.2s/330mm
16、机器人安装方式：下法兰安装；
17、控制柜固**装方式：角耳形式；
18、固定方式：利用控制柜侧面板上的4个安装支架对控制柜进行固定；
19、每工位手指独立真空吸附功能：独立电磁阀控制实现；
20、驱动本体+手臂组重量：≤70kg；
21、要求机器人本体旋转死区在本体接线盒侧。

售后服务

质保期：1年，自货物验收合格之日起生效，质保期内无偿提供现场售后服务。