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东南大学 - 竞价公告（CB102862026001153）
招标详情
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-10-08 16:00:22 截止时间：2026-10-12 09:00:00加急标书代写
申购主题： 紫外光刻机
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 99000.0人民币
| 桌面型掩膜对准紫外光刻机 | 1.0/台 | 99000.0 | 中芯热成 | XT-01-UV litho-手动 版 | ※1、 曝光类型：单面； ※2、 曝光面积：110×110mm； ※3、 曝光照度不均匀性：≤±5%； ※4、 紫外光束角：≤5° ※5、 ****中心波长：365nm； ※6、 紫外光源时间：≥8 万小时； 7、 采用电子快门； 8、 曝光分辨率：2μm； ※9、 显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±50mm； 10、 对准范围：X、Y 调节±6.5mm，Z向移动范围10mm，Q 向 360°粗调，±5°精调； ※11、 套刻精度：2μm ※12、 光刻胶：正性光刻胶 12、 曝光方式：接触式曝光； 13、 显微系统：单目 CCD 显微系统，2000 倍金相同轴光显微镜；光学放大倍数 0.7X-4.5X;高清 2K 工业 CCD 相机；LED 同轴光源；13.3 寸挂屏； ※14、 掩模版尺寸：≤127×127mm； ※15、 基片尺寸：≤Φ102mm； 16、 基片厚度：≤5mm； ※17、 曝光定时：0～999.9 秒（可调）； ※18、外形尺寸：603mm×535mm×723mm(高度不含支脚) 19、 电源：单相 AC220V 50HZ； 20、 设备所需能源：220V±10%，50HZ； | 质保1年 |
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