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| 193nm准分子激光剥蚀系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 193nm准分子激光剥蚀系统 |
| 预算金额: | 198.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
1.1 准分子脉冲激光器,输出波长:193nm; 1.2 脉冲重复频率:1-1000Hz 或以上,且可连续或分档软件设置,最小调节间距 1Hz,通过水循环制冷; 1.3 激光能量密度范围:0-15 J/cm2 或以上; 1.4 脉冲宽度:≤5ns;
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| 预计采购时间: | 2026-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写