193nm准分子激光剥蚀系统

发布时间: 2026年10月08日
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****2026年10至12月政府采购意向-193nm准分子激光剥蚀系统 详细情况
193nm准分子激光剥蚀系统
项目所在采购意向: ****2026年10至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 193nm准分子激光剥蚀系统
预算金额: 198.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
1.1 准分子脉冲激光器,输出波长:193nm; 1.2 脉冲重复频率:1-1000Hz 或以上,且可连续或分档软件设置,最小调节间距 1Hz,通过水循环制冷; 1.3 激光能量密度范围:0-15 J/cm2 或以上; 1.4 脉冲宽度:≤5ns;
预计采购时间: 2026-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2026-10-08
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