据建设项目环境影响评价审批的有关规定,经审查,我局拟对《****半导体CVD-SiC材料及零部件项目生态环境影响报告书》作出审批意见。为保证审批的严肃性、公正性及公众知情权,现将该项目环评文件基本情况予以公示。公示期为公示发布后五个工作日,如有意见,请于公示期内将****生态环境局环****管理科。
联系电话:0564-****105 地址:**市佛子岭路与梅山****服务中心
听证权利告知:依据《中华人民**国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。
一、建设项目基本情况
建设地点:****开发区****园区****公司4号厂房。
建设单位:****
项目概况:****开发区****园区****公司4厂房,拟在三年内建成。投资3.6亿元,主要建设6台CVD-SiC真空炉及配套设备,实现年产4.8万片碳化硅材料。
二、环评文件审查情况
(一)程序合法性审查
1. 根据《建设项目环境影响分类管理名录》,本项目国民经济行业类别为C3985电子专用材料制造,项目属于“三十六计算机、通信和其他电子设备制造业39中“81电子元件及电子专用材料制造398”中半导体材料制造,应编制环境影响报告书。对照《固定污染源排污许可分类管理名录(2019年版)》,本项目属于固定污染源排污许可分类管理名录表中的“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业39”中的“89电子元件及电子专用材料制造398”,排污许可管理类别为登记管理。
2. 环评单位****研究院****公司,当前记分周期内均无记分记录,符合生态环境部《建设项目生态环境影响报告书(表)编制监督管理办法》(生态环境部令第9号)相关规定。
3. 按照省厅和市局审批目录规定,该项目环境影响报告书由市级生态环境部门负责审批。
4. 技术评审会专家出具了技术评审意见。评审意见结论:报告书编制总体规范,评价方法基本符合导则要求,采取的污染防治措施基本可行,评价结论总体可信,经修改完善后可上报。
5. 项目按要求开展了公众参与,我局进行了10个工作日的受理公示,公示期间未收到相关反馈意见。征求了市局水科、气科、固废科、****分局的意见,未收到反馈意见。
(二)内容合规性审查
1.项目选址合理。本项目为**项目,****开发区,****开发区****园区****公司4厂房,拟在三年内建成。对照《**市国土空间总体规划(2021 -2035 年)》,本项目位于工业发展区,占地类型为工业用地,不涉及基本农田,生态保护红线,选址符合要求。
2.该项目符合产业政策。根据《产业结构调整指导目录(2024年本)》,本项目属于鼓励类第二十八类“信息产业”中“第6子项半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料)”项目,****经济开发区运行局备案,符合国家产业政策要求。
3.符合生态环境分区管控要求。项目选址不涉及自然保护地、永久基本农田、饮用水源保护区和生态保护红线,项目建设符合生态环境分区管控要求,符合**市生态环境准入清单要求。
(三)主要环境影响及对策
1.废气:主要废气为生产车间气相沉积废气、喷砂废气、切削液废气、罐区的呼吸废气等。
气相沉积废气:本项目共设置 6 台 CVD 炉,每台 CVD 炉配套 1 套独立的三塔串联碱液喷淋吸收处理系统和1 根独立排气筒。每台CVD 炉运行过程中产生的气相沉积废气经设备自带密闭集气系统收集后,经配套的三级碱液喷淋(TA001~TA006)处理后经18米高排气筒(DA001~DA006 )排放。
储罐呼吸废气:项目储罐配备气相平衡装置,产生呼吸废气经过管道收集与相邻气相沉积废气合并经三级碱液喷淋(TA001)处理后,经18m高排气体通(DA001)排放。
喷砂废气:各操作设备密闭,经设备自带袋式除尘器(TA007)处理后经1根18m高排气筒(DA007)达标排放。
切削液废气:废气密闭管道收集后经一套机械式油雾净化系统(TA008)处理后排放。
| 编号 | 产污环节 | 污染物 | 治理措施 | 执行标准 | ||
| 排放速率 (kg/h) | 浓度(mg/m3) | 标准 | ||||
| DA001 | 气相沉积废气及储罐呼吸废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA001) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA002 | 气相沉积废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA002) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA003 | 气相沉积废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA003) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA004 | 气相沉积废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA004) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA005 | 气相沉积废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA005) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA006 | 气相沉积废气 | HCl | 三级碱液喷淋+18m排气筒(DA006) | 0.362 | 100 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
| 颗粒物 | 4.94 | 120 | ||||
| NMHC | 60 | 30 | 执行**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》(DB34/4812.5-2024)表1限值要求 | |||
| DA007 | 喷砂废气 | 颗粒物 | 袋式除尘+18m排气筒(DA007) | 3.5 | 120 | 执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中的相关标准 |
2.废水:营项目废水主要为废水为废气喷淋废水、清洗废水、生活污水、循环冷却废水、蒸发冷凝水等。废气喷淋废水、清****处理站(处理能力为72m3/d)经过“中和调节+竖流沉淀+多介质砂滤+多介质碳滤+精密过滤+低温蒸发”处理,废水处理措施产生的蒸发冷凝水与纯水制备浓水、循环冷却系统排水以及生活污水合并进入纳入市政污水管网,****处理厂处理后达标排放。
3.噪声:优先选用低噪声设备,高噪声设备采取消声、减振、隔声等措施,减少项目在运营时噪声对周围环境的影响。
4.固体废物:项目产生的一般固体废物废边角料、收集的粉尘、纯水制备系统废滤芯、废石墨材料、不合格产品、废包装材料、炉腔废料等暂存一般固废暂存间,****回收部门回收再利用。纯水制备系统废滤芯由供应商定期更换回收;一般固废暂存间设置在厂址西南侧,占地面积约10m2。生活垃圾设置临时贮存设施、垃圾分类收集箱,交由环卫部门处理。危险废物(废屑、废切削液、废UV灯管、废机油、废机油桶、污泥)危废间暂存,定期委托具有资质的单位处置;蒸发浓液作为危废存储在蒸发器废液罐内,定期委托资质单位处置。危废库设置于厂区西南侧,占地面积约20m2。项目**危废库进行危险废物的暂存,设计满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求。项目从危险废物的产生、分类收集、内部运输、贮存到委托处置全过程实施严格管控,经安全管理及处置,不会造成二次污染。危废委托有危险废物处置资质单位处置。
5.地下水和土壤环境:项目进行分区防渗,明确了地下水跟踪监测方案。
6.环境风险:设置1座不小于550m3事故池,能够确保事故状态下所有事故废水得到有效收集,待事故排除后送入企业污水处理处理后达标排放,确保事故废水不排入外环境。厂区配备突发事件环境风险应急物资,编制突发事件风险应急预案,并定期演练。
7.总量指标:项目废气总量控制指标为颗粒物:0.725t/a,已通过总量科室审核。
8.环境防护距离:项目以项目厂界为边界设置300m的环境防护距离,环境防护距离范围内无环境敏感目标。
三、环评总体结论
本项目的建设符合国家产业政策,****开发区用地及产业规划要求,符合相关生态环境保护政策要求。项目运营过程中,各类污染物在采用相应污染防治措施后可以做到达标排放,排放的主要污染物可以满足总量控制指标要求,不会降低区域环境质量的功能级别,在采取相应环境风险防范措施后,环境风险可控。评价结论认为,建设单位在建设和生产运营过程中,严格落实环评报告中提出的各项污染防治措施及“三同时”制度后,从环境影响角度分析,项目建设可行。