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| 1 | 宽温域多功能8寸真空探针台 | 要求满足常规8寸及以下器件测试,主要用于集成电路(ICs)、半导体器件(MOS/FET)、微电子机械系统(MEMS)、太阳能光电等的功能描述、测试与分析。在配置超低漏电流针尖,实现超低漏电流量测、电容性量测、建模特性、失效分析、光电分析等电性分析。要求设备结构设计合理,设备静态、动态、升降温稳定性好,采用先进技术,保证系统具有良好的定位和测量精度。设备使用、操作、维修方便且安全性高。 | ****000.00 | 2026-10 |