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上海大学2026年10月政府采购意向
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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2026年10月政府采购意向 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 标书代写
| 1 | BXX曝光检测套刻对准装置 | BXX光刻胶曝光检测装置，一套。用于实现光刻胶的干涉曝光。光学滤波波长：13.5nm；真空度不低于1E-2Pa；掩膜-样品最小工作距离不大于10μm；焦深不大于100nm；样品台xy向定位抖动不高于3nm（rms@1s）；样品台xy向定位漂移不高于3nm（1min）；样品台最小步进10nm。供货周期：合同签订后12个月，质保2年。 | ****000.00 | 2026-10 |
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