广州市黄埔区政务服务和数据管理局（广州开发区行政审批局）关于对12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目（四期项目）生态环境影响评价文件拟进行审查的公示

项目名称

12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目（四期项目）

建设地点

******区

建设单位

****

项目概况

****12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目（四期项目）选址在**市**区**镇**五路26****公司现有厂区内）建设，年产12英寸集成电路芯片39.6万片（其中3D NAND存储芯片36万片，光模块芯片3.6万片）。项目年工作365天，其中生产人员每天2班，每班工作12小时；管理人员每天1班，每班8小时。

环评机构

****开发区****公司

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

1.湿法刻蚀、湿法清洗、湿法去胶后干燥洗、热氧化、CVD、光刻中的曝光、干法刻蚀等工艺废气（氯气、氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、磷酸雾、硅烷、乙硼烷、TVOC、非甲烷总烃、恶臭污染物）集中收集，由POU装置（主要工艺为燃烧水洗、电加热水洗、等离子水洗、水洗式）处理后并入9套酸性废气处理系统（碱液喷淋塔）处理。其中氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氮氧化物应达到**省《大气污染物排放限值》（DB44/27 -2001）第二时段二级标准，磷酸雾参照执行**市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中磷酸雾的标准限值要求，乙硼烷、硅烷应达到《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ611-2011）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）排放限值的较严者，氨、臭气浓度应达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2 恶臭污染物排放标准值后，TVOC、非甲烷总烃应达到**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1 挥发性有机物排放限值引至排气筒（DA001~DA009）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
2.显影、湿法清洗等工序产生的废气（恶臭污染物）集中收集，由4套碱性废气处理系统（酸液喷淋塔）处理。氨、臭气浓度应达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2 恶臭污染物排放标准值后引至排气筒（DA010~DA013）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
3.涂胶、烘干、坚膜、有机清洗等工序产生的有机废气（TVOC、非甲烷总烃）集中收集，由3套“沸石转轮+TO处理系统”处理。其中TVOC、非甲烷总烃应达到**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1 挥发性有机物排放限值，天然气燃烧废气（SO2、NOx和烟尘）应达到**省《锅炉大气污染物排放标准》（DB44/765-2019）表2**锅炉大气污染物排放浓度限值（不折算含氧量）和**省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2021）第二时段二级标准较严值引至排气筒（DA014~DA016）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
4.项目离子注入工艺产生的废气（砷及其化合物、氟化物、磷化氢）集中收集，由POU装置（干式吸附）处理。其中砷及其化合物、氟化物应达到**省《大气污染物排放限值》（DB44/27 -2001）第二时段二级标准，磷化氢应达到《环境影响评价技术导则 制药建设项目》（HJ611-2011）附录C 多介质环境目标值估算DMEG值和《荷兰排放导则》（NER）排放限值的较严者后引至排气筒（DA017）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
5.项目外延工艺产生的废气（氟化物、氯气、氯化氢、恶臭污染物）集中收集，由“POU装置（燃烧水洗）+碱液喷淋塔”装置处理。其中氯气、氯化氢、氟化物应达到**省《大气污染物排放限值》（DB44/27 -2001）第二时段二级标准，氨、臭气浓度应达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2 恶臭污染物排放标准值后引至排气筒（DA018~DA020）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
6.备用发电机（7台2000kW）应燃含硫量符合国家规定的轻柴油，尾气集中收集经黑烟净化器处理，应达到**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级标准（其中烟气黑度低于林格曼黑度1级标准）后引至排气筒（DA021~DA027）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。备用发电机只能在应急时使用。

公众参与情况

受理公示期间无反馈意见。