白光干涉共聚焦轮廓仪采购采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

**迈思瑞、**中图仪器、**鸿丰

型号

ML100、WT3000、HF1000

技术规格及参数

测量原理：白光干涉与共聚焦复合式；白光干涉模式适用于超光滑、粗糙、镜面、透明、黑色等材料表面；共聚焦模式应支持接近90°锐角微观形貌测量。
影像系统分辨率≥1024×1024；光源为白光LED；物镜转塔为5孔电动。
物镜配置：干涉物镜10×、50×；共聚焦物镜20×。
XY平台尺寸≥200×200 mm，行程≥100×100 mm，支持电动和手动控制，配备360°手动旋转盘；水平倾斜调整±3°。
Z轴电动聚焦行程≥100 mm；Z向单次非拼接扫描范围≥10 mm；纵向分辨率≤0.1 nm。
白光干涉模式形貌重复性≤0.1 nm；粗糙度RMS重复性≤0.005 nm；台阶高度测量准确度≤0.5%、重复性≤0.1%。
支持单区域、多区域阵列、方形/圆形等自动拼接测量
支持编程测量、测量与分析同界面操作、批量分析、数据处理（位置调整、去噪、滤波、提取）和粗糙度/几何轮廓/结构/频率/功能分析。
支持Word、Excel、CSV、PDF格式报告导出，并可导出2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果；中文界面，提供可离线使用的测量分析软件。
具备干涉条纹图像保存、任意点位光强曲线提取、信号分析和环境噪声评价功能，噪声评价分辨率达到0.1 nm。
具备气浮隔振或等效隔振方案；软件Z向限位和镜头碰撞回缩等双重防撞保护；具备光源无人值守休眠功能。
图形工作站：处理器不低于Ultra7-265或同等性能，内存≥32 GB，固态硬盘≥512 GB，机械硬盘≥1 TB，独立显卡显存≥8 GB，配24英寸显示器。
提供5 μm台阶高标准块、超光滑标准快、仪器配件箱、操作手柄、加压充气装置、显微3D测量软件、无油静压空压机、产品说明书、合格证、保修卡和整机检验报告。

质保期

3年质保

售后要求

提供软件报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。售后服务：卖方向用户提供国内的应用培训或现场培训，要求卖方派有资格的技术人员指导并制定培训内容。通过技术培训，应使买方的技术人员能够掌握该设备的操作和计算方法。