【分散采购备案单】二维材料转移平台

发布时间: 2026年10月10日
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项目概况

项目名称 二维材料转移平台 项目编号 ****
开始时间 2026-10-10 18:17 结束时间 2026-10-15 18:17
供应商资格要求 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额(元) 6.55
采购方式 单一来源 拟定成交供应商 深****公司
单一来源原因 1) 原设备配套及接口兼容性的要求。现有平台由深****公司提供。本次保留**台主体,吸附底座、旋转机构及电控Z轴须与原机安装基准、气路、夹具和显微空间匹配,拟由原供应商实施适配改造。 2) 吸附、转角与电控升降协同的要求。样品在旋转及Z轴接近、抬起时需可靠固定。吸附面、旋转中心、Z轴与观察位置须联合标定,并校核行程、管路干涉及热态稳定性,保证拾取、堆叠与释放操作的重复性。 3) 整机调试及技术责任连续性的要求。升级涉及原机多个关联部位,需在保留原有功能的基础上完**装、调试与转移流程验收。由原供应商统筹实施,可衔接技术服务及售后责任,减少分散改装、重复调试和责任划分问题。

采购货物信息列表

序号 货物(服务)名称 数量 计量单位 预算单价
1 二维转移平台 1 万 6.55
技术参数 真空吸附与加热底座:配置HTV-50,样品台直径2英寸,真空孔位可吸附载玻片及碎晶圆;XY行程50×50 mm,分辨率≤10 μm;温控范围室温至200℃,温度分辨率0.1℃,采用PID控温,配置水冷降温及水冷隔绝装置。 1)转角机构:MINI-PLUS加装R轴,±90°快调,任意位置离合后精调,厂家标称精准度±0.1°,配电子角度尺;HTV-50样品台360°旋转,±9°精调范围内分辨率0.001°;θX、θY调平范围均≥±5°,分辨率≤0.001°。 2)电控Z轴:CM50驱动行程±6 mm,报价标称分辨率±0.5 μm;电控手柄控制,速率调节100细分,支持MTS1000夹具负载。实际夹具适配及标称指标的定义、验收方法以技术协议确认。
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