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BXX曝光检测套刻对准装置
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***********公司企业信息
****2026年10月政府采购意向-BXX曝光检测套刻对准装置 详细情况
| BXX曝光检测套刻对准装置 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | BXX曝光检测套刻对准装置 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
BXX光刻胶曝光检测装置，一套。用于实现光刻胶的干涉曝光。光学滤波波长：13.5nm；真空度不低于1E-2Pa；掩膜-样品最小工作距离不大于10μm；焦深不大于100nm；样品台xy向定位抖动不高于3nm（rms@1s）；样品台xy向定位漂移不高于3nm（1min）；样品台最小步进10nm。供货周期：合同签订后12个月，质保2年。
|
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-10-11
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