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精密膜层制备装置
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190000.00
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***********公司企业信息
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| 采购信息 | |
| 采购单位名称 | |
| 采购项目名称 | 精密膜层制备装置 |
| 成交供应商 | **** |
| 成 交 价（元） | 190000 |
| 采购清单 | ||||||
| 序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单价（元） | 数量 | 技术参数 | |
| 1 | 精密膜层制备装置 | 190000 | 1 | φ280*H300（实际尺寸为准）SUS304优质不锈钢真空腔室； 高性能脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； 8.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）； 设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）； 设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa； 从大气抽至5.0×10-3Pa≤20min（设备空载）； ①基片台尺寸Φ100mm，承载最大样品尺寸小于Φ100mm；****中心打M4螺孔） ②旋转转速0～20转/分钟，可调可控； 金属蒸发源：水冷铜电极2组； 逆变式蒸发电源：功率3kW；1台 ≤±5%（单源蒸镀，基片台Φ100mm范围内）； PLC+触摸屏控制； 对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； | ||
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