南京工业大学 - 竞价结果公告(CB102912026000125)

发布时间: 2026年10月13日
摘要信息
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**** - 竞价结果公告(****)
发布时间:2026-10-13 09:25:46
申购单号: ****
申购主题: 微纳结构紫外光刻设备
采购单位: ****
竞价开始时间: 2026-09-21 16:22:16
竞价截至时间: 2026-10-11 18:25:30
币种: 人民币
付款方式: 预付30%,验收合格后付70%
备注说明:
质疑说明: 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额: 98000.00
送货时间: 合同签订后30天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
收货地址:
采购项 品牌 单项预算 成交单价 质保及售后服务 技术参数 数量 型号 成交总价 成交供应商
微纳结构紫外光刻设备 芯科智能 98000.00 自验收签字之日起,卖方对该设备质保2年。质保期内,设备因非买方人为原因造成的缺陷或损坏时,卖方应负责修理,卖方在接到通知后4小时内做出响应,设备恢复正常运行的时间不得超过48小时。按行业标准提供服务 1.紫外激光器波长<355nm。 2.设备功率:5W,脉宽<10ns,355nm。 3. 加工范围:200*200mm以上。 4. 扫描速度:7000mm/s。 ★5.场镜:石英材质,远心,焦距 EFL160mm,工作距离 WD210mm,入射光斑直径10mm,扫描角度±27.8°,加工范围在200*200mm以上,焦点大小10~15um,镜头直径90mm,连接方式M85*1。 ★6. 振镜:高精度数字振镜,数字协议;入光孔径≥10mm;重复定位精度<3um。 7.系统供电2.0KW/AC220V/50Hz温度、湿度5~35°C,30%≤RH≤85%。 8. 高精度XYZ电机,XYZ行程≥200mm,重复定位精度±5um,MV CCD相机+远心镜头。 ★9.系统正版:软件需要具备二次开发以及多点校正功能;软件支持一键自动校正,定位识别加工,图形拼接加工,3D加工模式。10.激光的线宽10~15um,刻蚀结构周期一致性要好,并提供样品效果。 11.提供激光原理课件:是。 1.0台 LME5M 98000.00 ****
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