开启全网商机
登录/注册
| 微纳结构紫外光刻设备 | 芯科智能 | 98000.00 | 自验收签字之日起,卖方对该设备质保2年。质保期内,设备因非买方人为原因造成的缺陷或损坏时,卖方应负责修理,卖方在接到通知后4小时内做出响应,设备恢复正常运行的时间不得超过48小时。按行业标准提供服务 | 1.紫外激光器波长<355nm。 2.设备功率:5W,脉宽<10ns,355nm。 3. 加工范围:200*200mm以上。 4. 扫描速度:7000mm/s。 ★5.场镜:石英材质,远心,焦距 EFL160mm,工作距离 WD210mm,入射光斑直径10mm,扫描角度±27.8°,加工范围在200*200mm以上,焦点大小10~15um,镜头直径90mm,连接方式M85*1。 ★6. 振镜:高精度数字振镜,数字协议;入光孔径≥10mm;重复定位精度<3um。 7.系统供电2.0KW/AC220V/50Hz温度、湿度5~35°C,30%≤RH≤85%。 8. 高精度XYZ电机,XYZ行程≥200mm,重复定位精度±5um,MV CCD相机+远心镜头。 ★9.系统正版:软件需要具备二次开发以及多点校正功能;软件支持一键自动校正,定位识别加工,图形拼接加工,3D加工模式。10.激光的线宽10~15um,刻蚀结构周期一致性要好,并提供样品效果。 11.提供激光原理课件:是。 | 1.0台 | LME5M | 98000.00 | **** |