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| 场发射扫描电镜电子源模块 | 1.0/套 | 赛默飞世尔 | NG gun SEM/SDB-FEGplus | 1、电子源类型: 适配 Schottky Field Emission Gun(肖特基场发射电子枪)电子光学系统。 2、电子束工作电压: 配套 Quanta 3D FEG 电子束系统工作电压范围 0.2–30 kV。 3、系统兼容性: 与现有 Quanta 3D FEG 的电子枪、真空、高压及电子光学系统兼容,满足原设备安装及运行要求。 4、功能要求: 安装调试后能够正常产生、聚焦和扫描电子束,满足设备正常 SEM 成像及原有电子光学功能要求。 5、服务要求: 完成电子源模块的安装、更换及必要的电子枪调试和功能检查,并提供相应的现场服务报告。 | 按行业标准提供服务 |