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某项目镀膜数据测量系统采购项目事前公示
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某项目镀膜数据测量系统采购项目事前公示
发布时间：2026-10-13
****
某项目镀膜数据测量系统采购项目事前公示
现将（****）2026-10-13采购需求公示如下：
项目基本信息| 项目 |
内容 |
| 项目名称 |
某项目镀膜数据测量系统采购项目 |
| 采购单位 |
**** |
| 项目负责人 |
李嘉婷 |
| 联系电话 |
188****5856 |
| 采购内容 |
本次采购的设备为某项目镀膜数据测量系统1套。 设备型号：其芒光电 KMC-135T3 Pro 技术参数：1）真空腔体尺寸：1.43m×1.37m×1.5 m; 2）极限真空度：优于7x10-5Pa 3）配备3套抽气分子泵，总抽速9900L/s； 4）配备冷冻机，流量29400L /s； 5）离子源：栅网口径180mm，射频离子源 6）沉积速率：大于3 nm/s （SiO2) 7）膜厚检测分辨率：优于0.1nm 8）均匀性：不低于3% (200mmx200mm) |
| 预算金额 |
人民币2,100,000.00元 |
| 供应商名称 |
**** |
| 公示期限 |
2026-10-13 11:30:00至2026-10-14 11:30:00 |
发布单位：****
发布日期：2026-10-13
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