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原子级反应真空获取及控制系统（SCUT-HW-JJ20260454号）延期公告

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广东 -广州

发布时间： 2026年10月13日

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获取控制系统公告

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延期理由：

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

原子级反应真空获取及控制系统	****
2026-10-10 09:53:34	2026-10-15 12:00:00
****招标中心	验收合格后双方签字盖章，凭发票30天内一次性付清；

	签约后30工作日
￥190000.00




市区五山路381号****五山校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

原子级反应真空获取及控制系统

套

其他机械设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

北加州电子

MPC3

￥ 190000.00

1.确保对接反应腔室后，本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa﹒L/S； 2.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃； *3.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m3/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝。 4.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个，测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀； 5.高精度PLC+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统；图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置 *6.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置25片2.5cm×2.5cm硅片或碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化铝，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格；

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

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