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关于内蒙古大学磁控溅射系统网上竞价公告

公告-招标公告

内蒙古 -呼和浩特

发布时间： 2026年10月13日

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大学磁控溅射公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射系统	****
2026-10-13 15:32:45	2026-10-16 16:00:00
****	预付款或者货到验收合格后付款

	签订合同后240个工作日内
￥270000.00




自治区大学西路235号******学院
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射系统

台

其他试验仪器及装置

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

费勉科技

SC300

￥ 270000.00

1. 系统总体要求：设备采用高真空多靶磁控溅射结构，配置直流溅射电源，可用于适配靶材的金属薄膜制备。系统由真空主腔、抽气系统、磁控溅射源、样品停放台、工艺气路模块组成。 2. 真空腔体及抽气系统：利用分子泵和前级机械泵组成泵组，实现额定氮气抽速不低于600 L/s，前级泵抽速不低于10m^3/h。 3. 磁控溅射靶源及电源：配置1套标准磁场磁控溅射靶枪，靶枪配置挡板，可用于预溅射遮挡，靶枪适配直径2 inch靶材，配置直流溅射电源1台，额定功率500 W。 4. 工艺气路及压力控制：配置1路高纯工艺气路，每路配备质量流量控制器及截止阀，支持Ar溅射工艺气体，Ar气路量程为100 sccm，气路采用支持高纯气体的管路及接头。 5. 样品停放台：配置样品台1套，适配Flag样品托（样品尺寸10*10mm）或相应尺寸的小片样品。 6. 进出样：主腔配置快开门，用于腔体Vent后的样品装卸、靶材更换及内部维护，快开门具备可靠的密封结构。 7. 设备可与现有团簇设备对接，并在团簇设备中提供双工位停放台。

技术支持:7x24小时;保修期:一年;服务响应时限:报修后24小时;质保期:一年;培训要求:培训一次;是否含税:国产含税;

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