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溅射镀膜仪（SCUT-HW-JJ20260456号）采购公告

公告-招标公告

广东 -广州

发布时间： 2026年10月13日

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溅射镀膜仪采购公告

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

溅射镀膜仪	****
2026-10-13 16:27:15	2026-10-15 17:00:00
****	预付40%，剩余部分验收合格后30天内一次性付清，每次付款前应由乙方提供等额发票；

	签约后90工作日
￥190000.00




市区五山路381****大学五山校区电力实验楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

Denton Desk V HP 台式溅射镀膜仪

台

样品前处理及制备仪器

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

Denton

Desk V

￥ 190000.00

设备名称及用途：购置 Denton Desk V HP 台式溅射镀膜仪1台，用于通过直流溅射工艺在样品表面沉积金膜，制备金电极。真空腔室：采用直径15.24 cm、高15.24 cm的硼硅玻璃圆筒，便于观察镀膜过程及进行腔室清洁维护。真空系统：配置双级旋片机械泵，标称抽速约为3.4 m3/h，配备过滤器及完整真空连接附件；配置电动放气阀，支持自动抽空和自动放气。真空检测：配置 Pirani 真空计，采用 NW16 法兰接口，接入系统工艺控制器，实时监测并显示主腔室压力。溅射源：配置直径5.08 cm的直流溅射源，采用向下溅射结构，兼容夹持式靶材，便于金靶安装、更换和维护。溅射电源：配置额定输出功率50 W的稳压直流电源，接入系统工艺控制器；支持溅射功率参数设定及独立溅射时间控制，实现预设条件下的金膜沉积。工艺气路：配置带针阀调节和截止阀的工艺进气口，支持氩气进气及工作压力调节，配备安装使用所需的连接管路和接头。样品处理组件：配置直径5.08 cm的高度可调刻蚀组件及基片挡板，支持沉积前样品表面处理；刻蚀功能接入系统工艺控制器。控制系统：配置彩色触摸屏及可编程逻辑控制器，支持手动操作、自动抽空、自动放气，以及单按钮启动的单层半自动溅射工艺；可设定并调用镀膜工艺参数，协调电源、阀门和真空泵运行。安全保护：设备应具备适用的高压防护、保护接地、异常压力保护及紧急停止措施。供电及安装：设备应适配单相220 V、50 Hz供电条件。主机尺寸为高50.8 cm、宽58.4 cm、深45.7 cm，重量58 kg，外置机械泵另计。供货配置及资料：提供样品夹具、连接附件、操作维护手册及电气原理图。

服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;完**装调试和操作培训；供应商应提供安全联锁说明，并在安装调试时验证其有效性;

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