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微纳加工与异质集成系统
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***********公司企业信息
****2027年1至3月政府采购意向-微纳加工与异质集成系统 详细情况
| 微纳加工与异质集成系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2027年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 微纳加工与异质集成系统 |
| 预算金额： | 135.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300 电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
拟采购微纳加工与异质集成系统1套。系统主要包括无掩模光刻、旋涂显影、显微观察、转移与堆垛、热处理等功能单元，主要用于二维材料、氧化物及硅基等材料的微纳图形化、多层对准加工和异质集成，满足FET、Hall 器件、忆阻器、铁电器件及异质结等微纳器件制备需求。设备应运行稳定、加工精度和重复性满足科研使用要求，符合紫外光源、有机溶剂、电气及相关实验安全规范；供应商应提供运输、安装调试、操作培训、质保及售后技术服务，并在合同约定期限内完成供货、安装、调试和验收。质保≥1 年，合同生效后 6 个月内完成交付。
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| 预计采购时间： | 2027-01 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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