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| 1 | 螺旋扫描加工组件 | 元器件/其它元器件 | 圆环扫描范围1000微米@f100mm,扫描精度±20微米,扫描锥度±5°@f100mm,扫描圆度不小于90百分号 | 1.0 | 个 | 一次性交货 | 2026/11/30 | |||||
| 2 | 功率衰减器 | 元器件/其它元器件 | 衰减范围50百分号-97百分号,涂层>5J/cm2,调节时间<1s,精度≤±0.02° | 2.0 | 个 | 一次性交货 | 2026/11/30 | |||||
| 3 | 功率调节与监测模块 | 元器件/其它元器件 | 通光孔径2inch,单向可重复性±60urad,可重复增量移动0.03°,调整范围5百分号-95百分号,响应波长355nm-1100nm | 1.0 | 个 | 一次性交货 | 2026/11/30 | |||||
| 4 | 螺旋扫描加工组件 | 元器件/其它元器件 | 圆环扫描范围1000微米@f100mm,扫描精度±20微米,扫描锥度±5°@f100mm,扫描圆度不小于90百分号 | 1.0 | 个 | 一次性交货 | 2026/11/30 | |||||
| 5 | 功率衰减器 | 元器件/其它元器件 | 衰减范围50百分号-97百分号,涂层>5J/cm2,调节时间<1s,精度≤±0.02° | 1.0 | 个 | 一次性交货 | 2026/11/30 |