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| PECVD | 1.0/台 | 180000.0 | 无 | 无 | 1. 炉管尺寸:60*2400mm 2. 功率:12kw 3. 最高温度:1200°C 4. 常用温度:≤1150°C 5. 加热元件:优质电阻丝 6. 升温速率:≤5°C/min 7. 加热区长度:1400mm (300+300) 8. 恒温区长度:1200mm 9. 控温方式:智能化多段可编程控制 10. 控温精度:±1°C 11. 极限真空度:≤6.7*10-1pa(配飞越-8 机械泵) 12. 真空显示:电阻真空计数显采集 13. 使用气氛压力:≤-0.02MPa 14. 炉体尺寸:2700*600*1200mm 15. 外型尺寸:实物为主 16. 设备净重约:380KG 17. 工作电源:AC220V /50HZ/60HZ 18. 炉管旋转速度:0-20r/min 19. 炉体倾斜角度:25° | 按行业标准提供服务 |