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先进硅光集成技术创新平台项目（重大变动）
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0131MA6TX3L308 | 建设单位法人：杨军红 |
| 丁忠民 | 建设单位所在行政区划：**省**市高新区 |
| **市高新区**通讯产业园西太路以东、西沣路以西、绕城大环线以北 |
建设项目基本信息
| 先进硅光集成技术创新平台项目（重大变动） | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3976-C3976-光电子器件制造 |
| 建设地点： | **省**市高新区 高新区**通讯产业园西太路以东、西沣路以西、绕城大环线以北 |
| 经度:108.814256 纬度: 34.078464 | ****机关：****开发区****服务局 |
| 环评批复时间： | 2025-12-16 |
| 高新环评批复〔2025〕101号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2026-03-02 | 项目实际总投资(万元)：75000 |
| 953 | 运营单位名称：**光电****公司 |
| ****0131MA6TX3L308 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| 916********8140104 | 验收监测单位：******公司 |
| ****0132MA6W9EUD1M | 竣工时间：2026-04-17 |
| 2026-04-18 | 调试结束时间：2026-07-18 |
| 2026-09-03 | 验收报告公开结束时间：2026-10-08 |
| 验收报告公开载体： | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=540050 |
2、工程变动信息
项目性质
| 设置硅光电子芯片研发、中试、检测、工程化技术服务平台1个，为各类硅光芯片创新主体的研发、中试、测试、工程化提供技术服务平台，配套建设辅助工程、储运工程、公用工程及环保工程，其中配套建设2台1.75MW燃气热水锅炉。本次变动，建设****处理站处理规模及硅光电子芯片工艺试验研发能力进行调整，****处理站处理规模由200m3/d扩建为755m3/d,，硅光电子芯片工艺试验研发能力由35000片/a调整为36000片/a。 | 实际建设情况：设置硅光电子芯片研发、中试、检测、工程化技术服务平台1个，为各类硅光芯片创新主体的研发、中试、测试、工程化提供技术服务平台，配套建设辅助工程、储运工程、公用工程及环保工程，其中配套建设1台3.55MW燃气热水锅炉。本次变动，建设****处理站处理规模及硅光电子芯片工艺试验研发能力进行调整，****处理站处理规模由200m3/d扩建为755m3/d,，硅光电子芯片工艺试验研发能力由35000片/a调整为36000片/a。 |
| 2台1.75MW燃气热水锅炉变动为1台3.5MW燃气热水锅炉 | 是否属于重大变动：|
规模
| 建设****处理站处理规模及硅光电子芯片工艺试验研发能力进行调整，****处理站处理规模由200m3/d扩建为755m3/d,，硅光电子芯片工艺试验研发能力由35000片/a调整为36000片/a。项目总投资75000万元，其中环保投资950万元，占总投资比例为0.37%。 | 实际建设情况：建设****处理站处理规模及硅光电子芯片工艺试验研发能力进行调整，****处理站处理规模由200m3/d扩建为755m3/d,，硅光电子芯片工艺试验研发能力由35000片/a调整为36000片/a。项目总投资75000万元，其中环保投资953万元，占总投资比例为0.37%。 |
| 环保投资增加3万元 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 年产硅光电子芯片为36000片（3000片/批）的中试生产线及其附属设施和配套环保工程，处理规模为755m3/d****处理站 | 实际建设情况：年产硅光电子芯片为36000片（3000片/批）的中试生产线及其附属设施和配套环保工程，处理规模为755m3/d****处理站 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 环评报告要求： 有机废气经二级活性炭吸附系统处理达标后通过25m高排气筒排放；酸洗废气经过酸雾喷淋塔处理达标后通过25m高排气筒排；碱性废气经过碱性废气喷淋塔处理达标后通过25m高排气筒排放；污水处理站恶臭经过有机废气处理系统处理达标后通过25m高排气筒排放；锅炉配套低氮燃烧器，燃烧烟气通过21m高排气筒排放。 批复要求：严格落实废气治理措施。运行过程中产生的有机废气经二级活性炭吸附系统处理达标后依托现有1根25m高有机废气排气筒(DA002)达标排放，非甲烷总烃执行《挥发性有机物排放控制标准》(DB61/T1061-2017)；酸性废气经酸性气体洗涤塔处理(其中刻蚀、薄膜、离子注入、外延工序等尾气经等离子体水洗尾气处理器+酸性气体洗涤塔处理)达标后通过**1根25m高排气筒(DA006)达标排放，碱性废气经过碱性气体洗涤塔处理达标后通过**1根25m高排气筒(DA007)达标排放，其中氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)，其他执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)(GB14554-93)；锅炉配套低氮燃烧器，燃烧烟气通过1根21m高排气筒(DA005)达标排放，颗粒物、二氧化硫执行《锅炉大气污染物排放标准(DB61/1226-2018)》，氮氧化物执行《**市大气污染治理专项行动方案(2023—2027年)》(市字〔2023)32号)要求，林格曼黑度执行《锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)中标准限值。 环评报告要求：酸碱废水、有机废水、含氟废水****处理站酸碱处理系统、有机废水处理系统、含氟废水处理系统处理达标后排入市政污水管网；食堂废水经隔油池处理后同其他生活污水排入厂区化粪池后排入市政污水管网。 批复要求：严格落实各类生产废水治理措施。项目采用雨污分流形式，项目运行过程中产生的酸碱废水、纯水制备浓水进入厂区酸碱处理系统预处理；含氟废水进入厂区含氟废水处理系统预处理；有机废水进入厂内有机废水处理系统预处理。所有预处理后的生产废水进入排放池调节pH至中性后排至市政污水管网，运营期废水执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)，表1中间接排放标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)，中的B级标准。食堂废水经隔油后同其他生活污水排入化粪池收集，最终排入市政污水管网。 环评要求：选择低噪设备、墙体隔声、基础减振。 批复要求：严格落实噪声治理措施。合理设置高噪声设备，采取基础减振、柔性连接、隔声等降噪措施，确保运营期厂界噪声达标排放。 环评要求：生活垃圾采用垃圾桶集中收集后交由环卫部门定期清运；废包装材料、废靶材、废晶圆、新风空调废滤芯等一般工业固废经收集暂存后交由废品回收机构回收；废纯水制备RO膜由厂家回收；项目运行过程中产生的废显影液，酸碱废液，废光刻胶，废清洗剂，废研磨液，废铝腐蚀液，废硅腐蚀液，废双氧水，含氟废液，废靶材，废晶圆，检修废物，废气处理产生的废活性炭等危险废弃物应分类暂存后定期交由有资质单位处置，厂区要设置符合规范的暂存场所。 批复要求：加强固体废弃物管理。运行期产生的废包装材料、废靶材、废晶圆、新风空调废滤芯等一般工业固废经收集暂存后交由废品回收机构回收；废纯水制备RO膜由厂家回收；生产过程中产生的危险废物主要包括废显影液、酸碱废液、废光刻胶、废 清洗剂、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、废双氧水、含氟废液、检修废物、废活性炭等，分类暂存于危废贮存库，定期交由有资质单位处置。 | 实际建设情况：有机废气经二级活性炭吸附系统处理达标后通过25m高排气筒排放；酸洗废气经过酸性废气喷淋塔处理达标后通过25m高排气筒排；碱性废气经过碱性废气喷淋塔处理达标后通过25m排气筒排放；污水处理站恶臭经过有机废气处理系统处理达标后通过25m排气筒排放；锅炉配套低氮燃烧器，燃烧烟气通过21m排气筒排放。经验收检测，工艺废气氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）相关要求；非甲烷总烃满足《挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017）标准要求；硫化氢、氨满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)标准要求；锅炉废气满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB61 1226--2018）标准要求（氮氧化物执行《**市大气污染治理专项行动方案(2023—2027年)》(市字〔2023)32号)要求）。 酸碱废水、有机废水、含氟废水****处理站酸碱处理系统、有机废水处理系统、含氟废水处理系统处理达标后排入市政污水管网；食堂废水经隔油池处理后同其他生活污水排入厂区化粪池后排入市政污水管网。满足环评及批复要求。 采用低噪声设备、墙体隔声、基础减振等措施，满足环评及批复要求。 生活垃圾采用垃圾桶集中收集后交由环卫部门定期清运；运行期产生的废包装材料、废靶材、废晶圆、新风空调废滤芯等一般工业固废经收集暂存后交由废品回收机构回收；废纯水制备RO膜由厂家回收；生产过程中产生的危险废物主要包括废显影液、酸碱废液、废光刻胶、废 清洗剂、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、废双氧水、含氟废液、检修废物、废活性炭等，分类暂存于危废贮存库，定期交由**宏恩等****公司处置，厂区已设置符合规范的暂存场所。满足环评及批复要求。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 环评要求：建设单位要加强项目运行期的环境风险管理，落实分区防渗系统和事故池，修订企业突发环境事件应急预案并备案。 批复要求：按照《报告表》要求落实环境风险防范措施，加强项 目运营期的环境风险管理，修订环境风险应急预案并定期演练， 保证环境安全。 | 实际建设情况：落实分区防渗系统并按要求建有事故池，已制定企业突发环境事件应急预案并已取得备案（备案号为GXHB-2026-038-L）。满足环评及批复要求。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 8210.4 | 107653.2505 | 0 | 0 | 0 | 115863.65 | 107653.25 | |
| 1.782 | 1.941 | 0 | 0 | 0 | 3.723 | 1.941 | |
| 0.234 | 3.9008 | 0 | 0 | 0 | 4.135 | 3.901 | |
| 0.027 | 0.0154 | 0 | 0 | 0 | 0.042 | 0.015 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0.0146 | 0.0029 | 0 | 0 | 0 | 0.018 | 0.003 | / |
| 1.288 | 0.0486 | 0 | 0 | 0 | 1.337 | 0.049 | / |
| 0.029 | 0.012 | 0 | 0 | 0 | 0.041 | 0.012 | / |
| 0.15 | 1.429 | 0 | 0 | 0 | 1.579 | 1.429 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 污水处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B级标准限值。 | 755m3/d | 监测期间，项目综合废水排水口各个监测因子均满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B级标准限值。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 有机废气（DA002） | 挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017）和《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | 两级活性炭吸附+25m排气筒 | 验收监测期间，有机废气排气筒（DA002）非甲烷总烃排放浓度满足《挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017），氨、硫化氢排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | |
| 2 | 酸性废气（DA006） | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 等离子水洗+酸性废气洗涤塔+25m排气筒（其中刻蚀、薄膜、离子注入、外延等工序等离子水洗+酸性废气洗涤塔处理） | 验收监测期间酸性废气排气筒（DA006）硫酸雾、氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996），氨排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | |
| 3 | 碱性废气（DA007） | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 碱性废气洗涤塔+25m排气筒 | 验收监测期间碱性排气筒（DA007）氨排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | |
| 4 | 锅炉废气（DA005） | 《锅炉大气污染物排放标准（DB61/1226-2018）》和《**市大气污染治理专项行动方案（2023—2027年）》（市字〔2023〕32号） | 低氮燃烧器+21m排气筒 | 验收监测期间锅炉排气筒（DA005）二氧化硫、颗粒物排放浓度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB61 1226-2018）、氮氧化物排放浓度满足《**市大气污染治理专项行动方案(2023—2027年)》(市字〔2023〕32号)要求，林格曼黑度满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014） |
表3 噪声治理设施
| 1 | 噪声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求 | 基础减振、软性连接、厂房隔声等降噪措施 | 验收监测期间，厂界四厂界监测点昼间噪声范围在55~58dB（A）之间，夜间噪声范围在46~48dB（A）之间，昼夜间噪声值均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 环评要求：生活垃圾采用垃圾桶集中收集后交由环卫部门定期清运；废包装材料、废靶材、废晶圆、新风空调废滤芯等一般工业固废经收集暂存后交由废品回收机构回收；废纯水制备RO膜由厂家回收；项目运行过程中产生的废显影液，酸碱废液，废光刻胶，废清洗剂，废研磨液，废铝腐蚀液，废硅腐蚀液，废双氧水，含氟废液，废靶材，废晶圆，检修废物，废气处理产生的废活性炭等危险废弃物应分类暂存后定期交由有资质单位处置，厂区要设置符合规范的暂存场所。 批复要求：加强固体废弃物管理。运行期产生的废包装材料、废靶材、废晶圆、新风空调废滤芯等一般工业固废经收集暂存后交由废品回收机构回收；废纯水制备RO膜由厂家回收；生产过程中产生的危险废物主要包括废显影液、酸碱废液、废光刻胶、废 清洗剂、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、废双氧水、含氟废液、检修废物、废活性炭等，分类暂存于危废贮存库，定期交由有资质单位处置。 | 生活垃圾采用垃圾桶集中收集后交由环卫部门定期清运；一****处理站内压滤机处定期交由一般固废协同处置企业进行**化利用或填埋；废靶材、纯水制备废RO膜、新风系统废滤芯、废晶圆、废包装（不沾染危化品）一般固体废物暂存于一般固废暂存间，定期交物**润丰源****公司处置。 废显影液、废光刻胶、含氟废液、废清洗剂、废酸、废碱、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、检修废物、废包装（沾染危化品）、废活性炭含氟无机污泥、有机污泥定期交由**宏恩等****公司处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 有机废气经二级活性炭吸附系统处理达标后依托现有25m高有机废气排气筒排放（DA002） | 验收阶段落实情况：有机废气经二级活性炭吸附系统处理达标后依托现有25m高有机废气排气筒排放（DA002） |
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环保搬迁
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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区域削减
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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生态恢复、补偿或管理
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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功能置换
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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其他
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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