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合肥芯谷微电子股份有限公司微波器件及模组项目（重新报批）

审批

安徽-合肥-巢湖

发布时间： 2026年10月14日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********793250X	刘家兵
路恒	******开发区
省市高新区大路与路**东北角

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****微波器件及模组项目（重新报批）

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	****开发区省市高新区大路与路东北角
经度:117.****851 纬度: 31.810058	****环境局
	2023-11-07
环建审〔2023〕10085号	****
2025-09-22	54945.52
1200	****
****9325-0	****
MAEQL0T5-6	****公司,****公司
MAEQL0T5-6,MA2WFPT2-0	2025-08-01

2026-09-10	2026-10-13
	http://www.**.com/news-**506

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**（重新报批）	**（重新报批）
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产砷化镓晶圆4000片	年产砷化镓晶圆4000片
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

晶圆加工工艺：外延片—溶剂清洗—光刻—湿法刻蚀—去光阻—离子注入—干法刻蚀—沉积氮化硅—抛光—溅镀/蒸镀—背面减薄—划片—测试分选—入库清洗工序:外延片—酸洗—纯水喷淋清洗—碱浸洗—纯水洗—喷淋烘干—进入光刻工序光刻工序：光刻—烘烤—显影—纯水洗—OK73洗—有机洗—纯水喷淋—干燥洗—竖膜烘干湿法刻蚀：刻蚀—纯水洗—碱洗—纯水喷淋—有机洗—纯水喷淋—干燥洗去光阻：去光组—纯水洗—干燥洗离子注入：入片—片仓初抽真空—离子注入—片仓二次抽真空—出片干法蚀刻：硅片入仓—片仓初抽真空—保压刻蚀氮化硅—片仓再抽真空—硅片出仓氮化硅沉积：氮化硅沉积—入片—片仓初抽真空—射频沉积—片仓二次抽真空—出片蒸镀：酸洗—纯水洗—入片—片仓抽真空—蒸镀—取件背面减薄：入片—机械减薄—碱清洗—纯水清洗—酸洗—纯水洗—出片	晶圆加工工艺：外延片—溶剂清洗—光刻—湿法刻蚀—去光阻—离子注入—干法刻蚀—沉积氮化硅—抛光—溅镀/蒸镀—背面减薄—划片—测试分选—入库清洗工序:外延片—酸洗—纯水喷淋清洗—碱浸洗—纯水洗—喷淋烘干—进入光刻工序光刻工序：光刻—烘烤—显影—纯水洗—OK73洗—有机洗—纯水喷淋—干燥洗—竖膜烘干湿法刻蚀：刻蚀—纯水洗—碱洗—纯水喷淋—有机洗—纯水喷淋—干燥洗去光阻：去光组—纯水洗—干燥洗离子注入：入片—片仓初抽真空—离子注入—片仓二次抽真空—出片干法蚀刻：硅片入仓—片仓初抽真空—保压刻蚀氮化硅—片仓再抽真空—硅片出仓氮化硅沉积：氮化硅沉积—入片—片仓初抽真空—射频沉积—片仓二次抽真空—出片蒸镀：酸洗—纯水洗—入片—片仓抽真空—蒸镀—取件背面减薄：入片—机械减薄—碱清洗—纯水清洗—酸洗—纯水洗—出片
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气处理：酸性废气、离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气处理：2台Local Scrubber装置，离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入碱液洗涤塔，纳入酸性废气合并处理后排放；3套（2用1备）碱液洗涤塔，单台处理能力3万m3/h，排气筒1根（DA001），高度30m，直径1.5m；碱性废气、化学气相沉积废气处理：2台Local Scrubber装置经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入酸液洗涤塔，3套（2用1备）酸液洗涤塔，单台处理能力1万m3/h。排气筒1根（DA002），高度30m，直径0.8m；有机废气处理：2套二级活性炭吸附装置，单套处理能力1.5万m3/h。排气筒1根（DA003），高度30m，直径1.0m；燃气真空热水机组废气：自带超低氮燃烧器，废气经1根直径0.3m、高度15m的排气筒（DA004）排放；污水处理站废气：有机废水处理系统调节池、厌氧池上端加盖密闭、污泥压滤间采取密闭集气+生物除臭塔处理，尾气经1根30m高，直径0.8m，风量8000m3/h排气筒（DA005）排放；有机废液间废气：有机废液间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径0.5m、风量2000m3/h的排气筒（DA006）排放；化学品存储间废气：化学品存储间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径1.1m、风量13000m3/h的排气筒（DA007）排放；餐饮废气：油烟净化装置，经屋顶排气筒排放。废水处理：酸碱废水处理系统：工艺废水中酸碱废水进入酸碱废水处理系统处理，处理规模300m3/d，采用中和法处理，采用硫酸和氢氧化钠进行中和；含砷废水处理系统：工艺废水中研磨废水（含砷）进入含砷废水处理系统，处理规模60m3/d，采用两级袋式过滤+混凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤+两级树脂吸附处理，车间废水处理设施设砷监测点；含氟含磷废水预处理系统：工艺废水中含氟含磷废水进入含氟含磷废水处理系统，处理规模130m3/d，采用两段混凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤+树脂吸附处理；含氨废水预处理系统：工艺废水中含氨废水进入含氨废水pH调节池，处理规模100m3/d，预处理后进入有机废水处理系统；有机废水处理系统：有机废水与含氨废水预处理系统排水一同进入有机废水处理系统处理，处理规模720m3/d，采用水解酸化+厌氧/好氧生物法+MBR处理；生活污水：经化粪池处理，处理规模70m3/d，排入污水管网；餐饮废水：经油水分离器处理，处理规模30m3/d；有机废水处理系统排水、循环冷却水排水和反冲洗水进入回用水处理系统进行回用，处理规模为180m3/d，采用pH调节+多介质过滤+活性炭过滤+RO反渗透；酸碱废水处理系统排水、含砷废水处理系统排水、含氟含磷废水处理系统排水、生活污水及餐饮废水一起排入市政污水管网****处理厂集中处理。噪声治理：合理布局车间设备，优先使用低噪声设备，距离衰减、减振垫等。固废治理：生活垃圾设置垃圾桶收集，委托环卫部门统一清运。设置一般固废仓库，建筑面积约10m2，位于厂区东北侧化学品库东侧；位于化学品库东侧，面积135.79m2，划分区域存储，设酸性危废间（17.71m2）、碱性危废间（17.33m2）、氧化性危废间（11.79m2）、易燃性危废间（12.02m2）、废机油存放间（16.39m2）、毒性危废间（17.33m2）、废液存放间（43.22m2），设置有机废液间位于1#厂房一层北侧，面积为75m2，用于储存有机废液。	废气治理：酸性废气、离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气处理：已建2台Local Scrubber装置，离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入碱液洗涤塔，纳入酸性废气合并处理后排放；已建2套（2用）碱液洗涤塔，单台处理能力4.5万m3/h，已建排气筒1根（DA001），高度30m，直径1.5m；碱性废气、化学气相沉积废气处理：已建2台Local Scrubber装置经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入酸液洗涤塔，已建3套（2用）酸液洗涤塔，单台处理能力1万m3/h。已建排气筒1根（DA002），高度30m，直径0.8m；有机废气处理：已建2套二级活性炭吸附装置，单套处理能力1.5万m3/h。已建排气筒1根（DA003），高度30m，直径1.0m；燃气真空热水机组废气：自带超低氮燃烧器，废气经1根直径0.3m、高度15m的排气筒（DA004）排放；污水处理站废气：有机废水处理系统调节池、厌氧池上端加盖密闭、污泥压滤间采取密闭集气+二级水喷淋塔处理，尾气经1根32m高，直径0.8m，风量8000m3/h排气筒（DA005）排放；有机废液间废气：有机废液间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径0.5m、风量2000m3/h的排气筒（DA006）排放；化学品存储间废气：化学品存储间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径1.1m、风量13000m3/h的排气筒（DA007）排放；餐饮废气：油烟净化装置，经屋顶排气筒排放；废水处理：酸碱废水处理系统：工艺废水中酸碱废水进入酸碱废水处理系统处理，处理规模300m3/d，采用中和法处理，采用硫酸和氢氧化钠进行中和；含砷废水处理系统：工艺废水中研磨废水（含砷）进入含砷废水处理系统，处理规模60m3/d，采用两级袋式过滤+混凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤+两级树脂吸附处理，车间废水处理设施设砷监测点；含氟含磷废水预处理系统：工艺废水中含氟含磷废水进入含氟含磷废水处理系统，处理规模130m3/d，采用两段混凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤+树脂吸附处理；含氨废水预处理系统：工艺废水中含氨废水进入含氨废水pH调节池，处理规模100m3/d，预处理后进入有机废水处理系统；有机废水处理系统：有机废水与含氨废水预处理系统排水一同进入有机废水处理系统处理，处理规模720m3/d，采用水解酸化+厌氧/好氧生物法+MBR处理；生活污水：经化粪池处理，处理规模70m3/d，排入污水管网；餐饮废水：经油水分离器处理，处理规模30m3/d；有机废水处理系统排水、循环冷却水排水和反冲洗水进入回用水处理系统进行回用，处理规模为180m3/d，采用pH调节+多介质过滤+活性炭过滤+RO反渗透；酸碱废水处理系统排水、含砷废水处理系统排水、含氟含磷废水处理系统排水、生活污水及餐饮废水一起排入市政污水管网****处理厂集中处理。噪声治理：合理布局车间设备，优先使用低噪声设备，距离衰减、减振垫等。固废治理：位于化学品库东侧，面积135.79m2，划分区域存储，设酸性危废间（17.71m2）、碱性危废间（17.33m2）、氧化性危废间（11.79m2）、易燃性危废间（12.02m2）、废机油存放间（16.39m2）、毒性危废间（17.33m2）、废液存放间（43.22m2），设置有机废液间位于1#厂房一层北侧，面积为75m2，用于收集有机废液；并于3#综合动力站一层南侧设置废液存放间，面积为71m2。
污水处理站废气“有机废水处理系统调节池、厌氧池上端加盖密闭、污泥压滤间采取密闭集气+生物除臭塔处理，尾气经1根30m高排气筒(DA005)排放”调整为“污水处理站废气有机废水处理系统调节池、厌氧池上端加盖密闭、污泥压滤间采取密闭集气+二级水喷淋+1根32m高排气筒(DA005)排放”。非重大分析说明认为，上述变化确保废气收集治理效果不降低。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DW001	《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/4294-2022）	切割清洗蚀刻车间排放口	5月14日，车间废水预处理设施排放口砷日均值为0.0317mg/L；5月15日，车间废水预处理设施排放口砷日均值为0.03505mg/L；
2	DW002	厂区废水总排口达到《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/4294-2022）表2中间接排放标准和**处理厂的接管标准后进入处理厂，其中氟离子排放满足≤1mg/L的排放管控要求，动植物油按照《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准执行。废水经处理厂处理达到《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级标准中的A标准和《**处理厂和工业行业主要水污染物排放限值》（DB34/2710-2016）中相关标准后排入派河。	厂区废水总排口	根据监测结果，8月31日，厂区总排口pH值范围为7.4-7.5，日均值化学需氧量43mg/L、五日生化需氧量11.9mg/L、氨氮3.51mg/L、悬浮物18mg/L、总磷1.06mg/L、总氮9.68mg/L、氟化物0.58mg/L、动植物油0.06mg/L、砷0.9mg/L；9月1日，厂区总排口pH值范围为7.2-7.6，日均值化学需氧量31mg/L、五日生化需氧量8.9mg/L、氨氮1.85mg/L、悬浮物10mg/L、总磷0.75mg/L、总氮6.16mg/L、氟化物0.53mg/L、动植物油0.08mg/L、砷1.3mg/L；

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA001	《**省半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）及《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）	酸性废气、离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气处理：已建2台Local Scrubber装置，离子注入废气、干法蚀刻废气、CVD腔体清洗废气经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入碱液洗涤塔，纳入酸性废气合并处理后排放；已建2套（2用）碱液洗涤塔，单台处理能力4.5万m3/h，已建排气筒1根（DA001），高度30m，直径1.5m；	根据监测结果，5月6日项目DA001排气筒有组织排放氯化氢的浓度范围为1.23-2.39mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放氯气的浓度为＜0.2mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放硫酸雾的浓度范围0.2-0.64mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放磷酸雾的浓度为＜0.04mg/m3；5月7日项目DA001排气筒有组织排放氯化氢的浓度范围为0.44-2.07mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放氯气的浓度为＜0.2mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放硫酸雾的浓度为＜0.2mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放磷酸雾的浓度为＜0.04mg/m3；5月8日项目DA001排气筒有组织排放氟化物的浓度范围为0.12-0.16mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放硝酸雾的浓度范围为＜0.05mg/m3；5月9日项目DA001排气筒有组织排放氟化物的浓度范围为0.11-0.19mg/m3；项目DA001排气筒有组织排放硝酸雾的浓度范围为＜0.05mg/m3；
2	DA002	《**省半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）及《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	碱性废气、化学气相沉积废气处理：已建2台Local Scrubber装置经对应的等离子水洗尾气处理设备预先处理后汇入酸液洗涤塔，已建3套（2用）酸液洗涤塔，单台处理能力1万m3/h。已建排气筒1根（DA002），高度30m，直径0.8m；	5月8日项目DA002排气筒有组织排放氨的浓度范围为0.53-1.35mg/m3；项目DA002排气筒有组织排放氮氧化物的浓度范围为＜3mg/m3；5月9日项目DA002排气筒有组织排放氟化物的浓度范围为0.49-1.64mg/m3；项目DA002排气筒有组织排放氮氧化物的浓度范围为＜3mg/m3；
3	DA003	《**省半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）及《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）	有机废气处理：已建2套二级活性炭吸附装置，单套处理能力1.5万m3/h。已建排气筒1根（DA003），高度30m，直径1.0m；	5月14日项目DA003排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为4.54-5.83mg/m3；项目DA003排气筒有组织排放丙酮的浓度范围为＜3mg/m3；项目DA003排气筒有组织排放异丙醇的浓度范围为＜3mg/m3；5月15日项目DA003排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为4.25-4.74mg/m3；项目DA003排气筒有组织排放丙酮的浓度范围为＜3mg/m3；项目DA003排气筒有组织排放异丙醇的浓度范围为＜3mg/m3；
4	DA005	《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	有机废水处理系统调节池、厌氧池上端加盖密闭、污泥压滤间采取密闭集气+二级水喷淋塔处理，尾气经1根32m高，直径0.8m，风量8000m3/h排气筒（DA005）排放；	5月13日项目DA005排气筒有组织排放硫化氢的浓度范围为0.025-0.036mg/m3；项目DA005排气筒有组织排放氨的浓度范围为0.30-0.43mg/m3；项目DA005排气筒有组织排放臭气浓度的浓度范围为17-63（无量纲）；5月14日项目DA005排气筒有组织排放硫化氢的浓度范围为0.024-0.030mg/m3；项目DA005排气筒有组织排放氨的浓度范围为0.45-0.57mg/m3；项目DA005排气筒有组织排放臭气浓度的浓度范围为55-63（无量纲）。 5月
5	DA006	《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）	有机废液间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径0.5m、风量2000m3/h的排气筒（DA006）排放；	5月6日项目DA006排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为24.8-42.5mg/m3；5月13日项目DA006排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为24.1-34.9mg/m3；
6	DA007	《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）	化学品存储间设置集气口，收集的废气采用“二级活性炭吸附”处理后，废气经1根高度30m、直径1.1m、风量13000m3/h的排气筒（DA007）排放；	5月6日项目DA007排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为5.90-9.92mg/m3；5月7日项目DA007排气筒有组织排放非甲烷总烃的浓度范围为5.65-8.14mg/m3；

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

合理布局车间设备，优先使用低噪声设备，距离衰减、减振垫等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

合理布局车间设备，优先使用低噪声设备，距离衰减、减振垫等

经过两天监测，项目5月7日厂界昼间噪声值范围为52-61dB(A)；厂界夜间噪声值范围为44-53dB(A)；5月9日厂界昼间噪声值范围为47-51dB(A)；厂界夜间噪声值范围为44-53dB(A)。东厂界均邻厂，和周边企业共围墙；符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准要求（昼间65dB(A）夜间55dB(A））；

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固废治理：生活垃圾设置垃圾桶收集，委托环卫部门统一清运。设置一般固废仓库，建筑面积约10m2，位于厂区东北侧化学品库东侧；位于化学品库东侧，面积135.79m2，划分区域存储，设酸性危废间（17.71m2）、碱性危废间（17.33m2）、氧化性危废间（11.79m2）、易燃性危废间（12.02m2）、废机油存放间（16.39m2）、毒性危废间（17.33m2）、废液存放间（43.22m2），设置有机废液间位于1#厂房一层北侧，面积为75m2，用于储存有机废液。

固废治理：位于化学品库东侧，面积135.79m2，划分区域存储，设酸性危废间（17.71m2）、碱性危废间（17.33m2）、氧化性危废间（11.79m2）、易燃性危废间（12.02m2）、废机油存放间（16.39m2）、毒性危废间（17.33m2）、废液存放间（43.22m2），设置有机废液间位于1#厂房一层北侧，面积为75m2，用于收集有机废液；并于3#综合动力站一层南侧设置废液存放间，面积为71m2。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程