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上海工程技术大学 - 竞价公告（CB108562026000178）
招标详情
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-10-14 17:21:17 截止时间：2026-10-17 17:31:10加急标书代写
申购主题： 光刻机
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后30天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 160000.0人民币
| 光刻机 | 1.0/台 | 160000.0 | **兴林真空 | C-25XA | 1.四种版夹盘,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"方形掩板。对版的厚度无特殊要求（1～4mm皆可）。 2.设有相对应的真空吸附基片的“承片台”三个，分别适用于φ2、φ3、φ4片。对于非标准片或碎片，只要堵塞相应的小孔，同样能真空吸附。 3.照明：光源：采用GCQ350Z型超高压水银直流汞灯。照明范围：≤ф100mm不均匀性：ф100mm内±4%可使用的波长：g线、h线、I线的组合。根据用户要求，可增加I线滤光片。成象面照明：光照度0～10毫瓦/厘米2,任意可调(出厂时,照明度调在10mw/cm2)。 曝光分辨率:1μm 4.继电器：可从0.1秒∽999.9秒预设，控制气动快门，动作准确可靠。 *5.曝光模式：硬接触曝光：用管道真空来获得高真空接触。真空≤-0.05MPa。软接触曝光：接触压力可将真空降到-0.02MPa ～ -0.05MPa之间。微力接触曝光：小于软接触。真空≥-0.02MPa。 *6. 分辩率：如果用户的“版”、“片”精度符合国家规定，环境、温度、湿度、尘埃得到严格控制，采用进口正性光刻胶，且匀胶厚度得到严格控制。加之前后工艺先进的话，硬接触曝光的最小分辨度可达1μm。 7.对准：观察系统为两个单筒显微镜上装二个CCD摄像头，通过视屏线连接到显视屏上。a.单筒显微镜为0.7X～4.5X连续变倍显微镜（也可为1.6X～10X）。b.CCD摄像机靶面对角线尺寸为：1/3，（6mm）;c.采用19"液晶监视器，其数字放大倍率为19÷1/3=57倍；d.观察系统放大倍数为：0.7×57≈40倍（最小倍数），4.5×57≈256倍（最大倍数）或（91倍～570倍）。对准台：（采用片动，版不动方式）X、Y调整：±5mm。 θ调整：转角≤5°对准间隙（分离间隙）0～5mm任意可调。对准精度：1μm，套刻精度: 1μm整个对准台相对于显微镜可作±20mm扫描运动。“接触、分离”20μm情况下，片相对于版的“漂移量”，可调到≤±0.5μm。 *8.芯片检测系统：CRIS无限远光学系统 9.视觉系统：****光刻机双路视觉对准控制软件。支持开始/取消对准、双路视觉合像、左/右图像切换与暂停显示；亮度/对比度/饱和度0-255独立可调；典型对准精度≤±1μm；支持图像保存、路径自定义、实时时钟、及安全退出。 10.设备所需能源：主机电源： | 按行业标准提供服务 |
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