8英寸半自动探针台(A-WZBX1378)采购公告

发布时间: 2026年10月15日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
8英寸半自动探针台****
2026-10-15 11:29:192026-10-18 13:00:00
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签约后30个工作日内
¥600000.00
文宣楼

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
8英寸半自动探针台 1 台
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 600000.00
★1.1 8英寸半自动探针台,满足8英寸及以下各种规格晶圆、碎片、单粒器件、基片等电参数的测试表征。须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。 ▲1.2 8英寸半自动探针台,满足载物台X-Y轴移动分辨率≤0.2um,精度≤2um;须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。 1.3 8英寸半自动探针台,满足载物台X-Y轴移动范围≥203mm×203mm,重复性 ≤1.5um,最大速度≥100mm/s,精度≤2um,控制方式具备软件和手动两种模式。 1.4 8英寸半自动探针台,满足载物台Z轴行程≥35 mm,分辨率≤1μm,重复性≤ 1μm。 1.5 8英寸半自动探针台,满足载物台Theta轴旋转范围 ≥±7.5°,分辨率≤0.5um,可重复性≤1.5 μm,精度≤±2um。 ★1.6 8英寸半自动探针台,满足控制方式:软件和手动两种模式。须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。 ▲1.7 8英寸半自动探针台,满足载物台Y方向可从微暗室完全拉出,十分方便和安全地装载/卸载晶圆,同时也易于操作、观察芯片。须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。 1.8 8英寸半自动探针台,配置有微暗室:EMI屏蔽≥ 20 dB@ 0.5-20 GHz (typical);光屏蔽≥ 120 dB;噪声屏蔽 ≤ -150 dBVrms/rtHz (≤1MHz) ;交流噪声抑制能力≤ 15mVp-p (≤ 1GHz)。 1.9 8英寸半自动探针台,满足探针台的台板快速分离/接触行程≥5mm,且重复性≤3um,保证测量下针的稳定和精确性。另外台板能容纳4路RF或者8路DC测试针座,台板预留标准开槽尺寸,用于探卡固定器的安装。 ▲1.10 8英寸半自动探针台,配置8边屏蔽罩,且与显微镜镜头罩能紧密接触,与探针台微暗室一起保障起到电磁屏蔽完整性和防止低温水汽进入暗室导致结霜。须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。 ★1.11 8英寸半自动探针台,配置机台主体集成主动式减震台。须提供实现该功能要求的产品技术参数及规格说明书佐证,或提供官方产品彩页(需体现上述参数)佐证,或提供国家认可的检验(检测)机构出具的相应报告佐证(报告需加盖机构公章或检验检测专用章),或提供产品官方网站查询技术参数截图(并注明查询网址链接)佐证,且在佐证材料上标示“规格技术参数偏离表”对应的内容,并加盖投标人公章。
商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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