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中芯国际集成电路生产线项目一期第三次增资扩产项目变更
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 911********4017237 | 建设单位法人：刘训峰 |
| 边文 | 建设单位所在行政区划：****开发区 |
| ****开发区**大道18号 |
建设项目基本信息
| 中芯国际集成电路生产线项目一期第三次增资扩产项目变更 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点： | ****开发区 ****开发区**大道18号 |
| 经度:116.497660 纬度: 39.778320 | ****机关：****开发区行政审批局 |
| 环评批复时间： | 2025-05-12 |
| 经环保审字〔2025〕0063号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2025-12-11 | 项目实际总投资(万元)：52067.6 |
| 1870.7 | 运营单位名称：**** |
| 911********4017237 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：****管理科****公司 |
| 911********9945002 | 验收监测单位：**中天****公司,**奥****公司 |
| ****0106MA002FLN0H,911********522249H | 竣工时间：2025-10-31 |
| 调试结束时间： | |
| 2026-09-04 | 验收报告公开结束时间：2026-10-12 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.com/site/about_HSE |
2、工程变动信息
项目性质
| 改扩建 | 实际建设情况：改扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 芯片生产能力6万片/月 | 实际建设情况：芯片生产能力6万片/月 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本项目为集成电路制造项目，完整的集成电路生产包括掩膜设计、芯片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。 | 实际建设情况：本项目为集成电路制造项目，完整的集成电路生产包括掩膜设计、芯片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 一、本项目碱性刻蚀废水、碱洗废水、显影废水、碱性刻蚀前段清洗水、碱性废气洗涤塔排水须依托现有含氨废水处理系统处理后，同含氟刻蚀废水、酸洗废水、含氟刻蚀前段清洗水、酸性废气洗涤塔排水、水洗式 POU 净化装置排水一并排入现有含氟废水处理系统处理后排放: 含铜废水和研废水须分别依托现有含铜废水处理系统和研磨废水处理系统处理后排放;生活污水须依扦现有预处理设施、隔油池预处理后进入现有生活污水处理系统处理后排放。上述各废水处理系统排水同酸性刻蚀废水、酸洗废水及酸性刻蚀前段清洗水、纯水制备废水、常温冷却水系统冷却塔排水、工艺设备冷却水排水一并进入现有中和系统处理后通过厂区总排口排放；二、本项目产生的酸性废气须依托现有碱液喷淋塔(新增 1根酸性废气排气筒和配套风机) 处理后排放，碱性废气须依托现有酸液喷淋塔处理后排放，有机废气须依托现有沸石转轮浓缩燃烧系统处理后排放，不含砷工艺尾气须依托现有燃烧水洗 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入酸性废气处理系统处理后排放含砷工艺尾气须依托现有于式吸附 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入含砷废气处理系统吸附处理后排放。 | 实际建设情况：一、本项目碱性刻蚀废水、碱洗废水、显影废水、碱性刻蚀前段清洗水、碱性废气洗涤塔排水须依托现有含氨废水处理系统处理后，同含氟刻蚀废水、酸洗废水、含氟刻蚀前段清洗水、酸性废气洗涤塔排水、水洗式 POU 净化装置排水一并排入现有含氟废水处理系统处理后排放: 含铜废水和研废水须分别依托现有含铜废水处理系统和研磨废水处理系统处理后排放;生活污水须依扦现有预处理设施、隔油池预处理后进入现有生活污水处理系统处理后排放。上述各废水处理系统排水同酸性刻蚀废水、酸洗废水及酸性刻蚀前段清洗水、纯水制备废水、常温冷却水系统冷却塔排水、工艺设备冷却水排水一并进入现有中和系统处理后通过厂区总排口排放；二、本项目产生的酸性废气须依托现有碱液喷淋塔(新增 1根酸性废气排气筒和配套风机) 处理后排放，碱性废气须依托现有酸液喷淋塔处理后排放，有机废气须依托现有沸石转轮浓缩燃烧系统处理后排放，不含砷工艺尾气须依托现有燃烧水洗 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入酸性废气处理系统处理后排放含砷工艺尾气须依托现有于式吸附 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入含砷废气处理系统吸附处理后排放。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 299.808 | 0 | 0 | 0 | 299.808 | 299.808 | |
| 0 | 350.7754 | 493.263 | 0 | 0 | 350.775 | 350.775 | |
| 0 | 40.7739 | 43.444 | 0 | 0 | 40.774 | 40.774 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 2.1016 | 6.957 | 0 | 0 | 2.102 | 2.102 | / |
| 0 | 20.5071 | 22.787 | 0 | 0 | 20.507 | 20.507 | / |
| 0 | 8.659 | 43.442 | 0 | 0 | 8.659 | 8.659 | / |
| 0 | 9.7943 | 17.719 | 0 | 0 | 9.794 | 9.794 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 含氟废水处理系统 | 《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）、同时满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）。 | 设置4套含氟废水处理系统，位于CUB内，总处理能力5760m3/d（960+1200+1680+1920 m3/d），采用“除氟剂（新增）+PAC+CaCl2混凝沉淀”工艺。 | 2026.****.10-06.11，废水排放达到《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）中限值要求。 | |
| 2 | 含氨废水处理系统 | 《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）、同时满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）。 | 设置1套（两段串联式）含氨废水处理系统，位于AMT，采用两段式“一段（换热+吹脱+硫酸吸收液吸收法）+二段（锰砂塔除双氧水+换热+吹脱+硫酸吸收液吸收法）”处理工艺，其中一段处理能力45m3/h（新增15m3/h的处理能力），二段处理能力40m3/h，系统总处理能力40m3/h（960m3/d）。 | 2026.****.10-06.11，废水排放达到《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）中限值要求。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碱液喷淋废气洗涤塔 | 《电子工业大气污染物排放标准》（DB 11/ 1631-2019） | 依托现有共18套（15用3备）碱液喷淋洗涤塔+19个（16用3备）35.8m排气筒（在P1A新增1根排气筒及配套风机） | 验收监测期间，酸性废气排气筒污染物排放浓度满足《电子工业大气污染物排放标准》（DB11/ 1631-2019）、《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)污染物排放标准限值的要求。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 主要高噪声设备 | 1 | 优化设备选型，合理布置总平；墙体隔声，设备减振、消声、隔声等。 | 1 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 固体废弃物须按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。其中硫酸废液、磷酸废液、硝酸废液、氢氟酸废液、废异丙醇、废光阻、废去光阻液(含光刻胶、稀释剂)、显影废液、废有机清洗液、NMP 废液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等 (**学物质清洗杂物等)、废过滤芯、废催化剂、废化学品容器、废铅酸电池、电池(UPS 系统更换 )、含汞废物、铜制程废液、含铜污泥、含砷废液、废刻蚀液、废机油、废矿物油、废防冻液、废盐酸等属危险废物，须委托有资质的单位进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位须制定危险废物管理计划，报开发区有关部门备案。 | 已按照相关要求落实。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 加强环境风险防范，落实各项风险防范措施，制定突发环境事故应急预案，报开发区有关部门备案，并与开发区应急预案联动。加强化学品在运输和使用过程中的管理，分类贮存。贮存场所须按标准建设，应设自动报警装置和必要的应急防范措施防止火灾、泄漏、爆炸。 | 已按照相关要求落实。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 一、本项目碱性刻蚀废水、碱洗废水、显影废水、碱性刻蚀前段清洗水、碱性废气洗涤塔排水须依托现有含氨废水处理系统处理后，同含氟刻蚀废水、酸洗废水、含氟刻蚀前段清洗水、酸性废气洗涤塔排水、水洗式 POU 净化装置排水一并排入现有含氟废水处理系统处理后排放: 含铜废水和研废水须分别依托现有含铜废水处理系统和研磨废水处理系统处理后排放;生活污水须依扦现有预处理设施、隔油池预处理后进入现有生活污水处理系统处理后排放；二、本项目产生的酸性废气须依托现有碱液喷淋塔(新增 1根酸性废气排气筒和配套风机) 处理后排放，碱性废气须依托现有酸液喷淋塔处理后排放，有机废气须依托现有沸石转轮浓缩燃烧系统处理后排放，不含砷工艺尾气须依托现有燃烧水洗 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入酸性废气处理系统处理后排放含砷工艺尾气须依托现有于式吸附 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入含砷废气处理系统吸附处理后排放。 | 验收阶段落实情况：一、本项目碱性刻蚀废水、碱洗废水、显影废水、碱性刻蚀前段清洗水、碱性废气洗涤塔排水须依托现有含氨废水处理系统处理后，同含氟刻蚀废水、酸洗废水、含氟刻蚀前段清洗水、酸性废气洗涤塔排水、水洗式 POU 净化装置排水一并排入现有含氟废水处理系统处理后排放: 含铜废水和研废水须分别依托现有含铜废水处理系统和研磨废水处理系统处理后排放;生活污水须依扦现有预处理设施、隔油池预处理后进入现有生活污水处理系统处理后排放；二、本项目产生的酸性废气须依托现有碱液喷淋塔(新增 1根酸性废气排气筒和配套风机) 处理后排放，碱性废气须依托现有酸液喷淋塔处理后排放，有机废气须依托现有沸石转轮浓缩燃烧系统处理后排放，不含砷工艺尾气须依托现有燃烧水洗 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入酸性废气处理系统处理后排放含砷工艺尾气须依托现有于式吸附 POU 净化装置(改造处理能力)处理后进入含砷废气处理系统吸附处理后排放。 |
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环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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