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集成电路装备零部件研发制造基地项目（第一阶段）

审批

北京-北京-通州区

发布时间： 2026年10月15日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0302MA01WC4G1A	郑广文
祝佳	****开发区
**开发区东街甲5号3号楼三层201-3

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

集成电路装****基地项目（第一阶段）

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	**开发区开发区亦庄0606 街区YZ00 -0606-0016 地块
经度:116.573730 纬度: 39.722490	****开发区行政审批局
	2022-11-17
经环保审字〔2022〕0123号	****
2026-08-04	59000
344	****
****0302MA01WC4G1A	环谱**公司
911********463593G	******公司
911********463630N	2026-05-20

2026-09-08	2026-10-10
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=530496

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目为**项目，建设项目行业类别为三十二、专用设备制造业电子和电工机械专用设备制造 356	本项目为**项目，建设项目行业类别为三十二、专用设备制造业电子和电工机械专用设备制造 356。
无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目建成后年产刻蚀反应腔1000件、镀膜反应腔400件、腔体盖板系列2000件、反应腔内部零件10000件、腔体门板2000件、内衬2000件、匀气盘20000件、ESC基座300件、LL腔体3000件、LL腔体配合结构件5000件、保持环25000件、圆环系列零件5000件、其他长条类零件20000件、抛光盘800件、托盘轴800件、其他零件10000件。	项目建成后年产刻蚀反应腔1000件、镀膜反应腔400件、腔体盖板系列2000件、反应腔内部零件10000件、腔体门板2000件、内衬2000件、匀气盘17000件、ESC基座300件、LL腔体3000件、LL腔体配合结构件5000件、保持环25000件、圆环系列零件5000件、其他长条类零件20000件、抛光盘800件、托盘轴800件、其他零件10000件。
匀气盘年产量为17000件，比环评阶段少3000件/年

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目生产包括金属材料加工和非金属材料加工。金属材料加工工艺主要为机械粗加工、机械半精加工、机械精加工、机加清洗、焊接、热处理、遮蔽探伤、检验、抛光、清洗、化学清洗、烘烤、装配、测试、转运。非金属材料加工工艺主要为机械粗加工、机械半精加工、机械精加工、机加清洗、粘接、固化、检验。生产用纯水由配套纯水制备机制备提供。	本次验收阶段仅包括金属材料加工。金属材料加工工艺主要为机械粗加工、机械半精加工、机械精加工、焊接、热处理、遮蔽探伤、检验、抛光、清洗、装配、测试、转运。生产用纯水依托1号地纯水制备系统提供。
项目机加清洗工序新增1条大件机加清洗线，本次验收不涉及非金属材料加工工艺，不涉及抛光、化学清洗、烘烤工序，及粘接、固化工序。纯水制备系统由**变为依托1号地纯水制备系统。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：机加油雾经机床配套的油雾收集器进行处理后在车间无组织排放。焊接设置独立的焊接封闭区域，产生的焊接烟尘经移动式焊接烟尘净化器收集处理后在车间无组织排放。粘接固化工序产生的挥发性有机废气经活性炭吸附装置处理后通过20m高排气筒DA001排放。抛光打磨工序产生的粉尘经布袋除尘器处理后通过20m高排气筒DA002排放。化学清洗+烘烤中酸蚀工序产生的氮氧化物、氟化物经碱液喷淋吸收法通过23m高排气筒DA003排放。废水：机加清洗、抛光清洗废水及化学清洗脱脂废水经脱脂废水处理系统（酸析法+Fenton氧化法）工艺处理后，通过2号地废水总排口DW001排入市政污水管网，最终**水厂。化学清洗的酸蚀废水及碱喷淋产生的喷淋液经含氟废水处理系统（化学反应+二级絮凝沉淀）处理后接入酸性废水处理系统（酸碱中和+絮凝沉淀+过滤）处理，酸洗废水排至酸性废水处理系统处理，酸性废水处理系统出水一部分回用，另一部分通过2号地废水总排口DW001排入市政污水管网，最终水厂。纯水制备排水通过2号地废水总排口DW001排入市政污水管网，最终水厂。生活污水经化粪池预处理后通过2号地废水总排口DW001接入市政污水管网，水厂处理。噪声：项目选用低噪声、振动小的设备，厂房隔声、设备安装时加装基础减振垫。固体废物：本项目产生的危险废物主要为废酸、废切削液、废化学品容器、废活性炭、处理站产生的污泥，贮存于危废间，委托有资质单位处理处置；一般工业固体废物主要为除尘器收尘灰、废包装物及边角料，****回收部门进行回收再利用；生活垃圾由环卫部门定期清运。	废气：机加油雾经机床配套的油雾收集器进行处理后在车间无组织排放。焊接设置独立的焊接封闭区域，产生的焊接烟尘经移动式焊接烟尘净化器收集处理后在车间无组织排放。废水：机加清洗废水排至1**处理站脱脂废水处理系统（化学沉淀法+生化法）+多介质过滤器和重金属痕液吸附系统处理后通过1号地废水总排口排至市政污水管网，最终排入水厂。纯水制备系统依托1号地现有纯水制备系统，纯水制备排水通过1号地废水总排口排至市政污水管网，最终排入水厂。生活污水经化粪池预处理后通过2号地单独生活污水排口排入市政污水管网，汇入水厂处理。噪声：项目选用低噪声、振动小的设备，厂房隔声、设备安装时加装基础减振垫。固体废物：本项目实际建设产生的危险废物包括废切削液、废化学品容器、废机油，依托1号地危废间贮存，委托****公司转运处置。一般工业固体废物包括废包装物及边角料，统一收集后交物资回收单位进行回收；生活垃圾由环卫部门定期清运。
废气：本次验收阶段仅涉及机加油雾及焊接烟尘。抛光、粘接固化工序、化学清洗+烘烤工序未建设。废水：机加清洗废水由2**处理站处理后通过2号地废水总排口排至市政管网，变为排至1处理站处理后通过1号地废水总排口排至市政污水管网。纯水制备排水通过2号地废水总排口排入市政污水管网，变更为通过1号地废水总排口排至市政污水管网。本次验收不涉及化学清洗的酸蚀、酸洗废水及碱喷淋产生的喷淋液。噪声：无变动。固体废物：危废贮存由利用危废库，变为依托1号地危废库暂存；本次验收危险废物不涉及废酸、****处理站污泥，一般工业固废不涉及除尘器收尘灰。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

消防：消防水池+消防泵（依托《半导体装备零部件全****基地》（1号地）1368m3贮水池及泵房），机加创新车间设置18m3消防水箱。	建设地下消防水池368m3，消防泵依托1号地泵房，机加创新车间未进行建设，不在本次验收范围内。
由依托1号地消防水池变更为**地下消防水池368m3，机加创新车间未进行建设，不在本次验收范围内。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.78	0	0.78	0.78
0.329	4.0725	0.329	0.329
0.007	0.3665	0.007	0.007
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.013	0	0.013	0.013	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

本项目机加清洗废水、抛光+清洗产生的脱脂废水、化学清洗产生的脱脂废水须经脱脂废水处理系统处理后排放；化学清洗产生的酸蚀废水、酸碱废气处理系统碱喷淋废水须经含氟废水处理系统处理后同化学清洗产生的酸性废水一并排入酸碱综合废水处理系统处理后部分回用，剩余部分排放；生活污水须经化粪池消解后同纯水制备浓盐水一并排放。

《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）

本次验收不涉及抛光清洗废水、化学清洗产生的脱脂废水、酸蚀废水、酸碱废气处理系统碱喷淋废水。机加清洗产生的脱脂废水经1****处理站脱脂废水处理系统（化学沉淀法+生化法）+多介质过滤器和重金属痕液吸附系统处理后通过1号地废水总排口DW002排放；纯水制备依托1号地纯水制备系统；生活污水经化粪池消解后排放。

正常

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

粘接固化工序产生的挥发性有机物须经活性炭吸附装置处理后排放，抛光工序产生的粉尘须经布袋除尘器处理后排放，化学清洗工序产生的氢氟酸雾和硝酸雾须经碱喷淋塔处理后排放。机加工序产生的油雾（以非甲烷总烃计）须经机床配套的油雾收集器处理后无组织排放，焊接工序产生的焊接烟尘须经移动式焊接烟尘净化器处理后无组织排放

《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）

本次验收不涉及粘接固化工序、抛光工序及化学清洗工序，因此无挥发性有机物、粉尘、氢氟酸雾和硝酸雾的治理设施。机加工序产生的油雾（以非甲烷总烃计）经机床配套的油雾收集器处理后无组织排放，焊接工序产生的焊接烟尘经移动式焊接烟尘净化器处理后无组织排放，新增激光切割机粉尘经设备自带烟尘净化器处理后无组织排放

正常

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

合理布局

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

生产设备选用低噪声设备，均合理布置于厂房内，机加设备加装减振垫

正常

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

废酸、废切削液、废化学品容器、废活性炭、废机油、污水处理站污泥等属危险废物，须委托有资质的单位进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位须制定危险废物管理计划，报有关部门备案。

生活垃圾集中收集后由环卫部门定期清运。一般工业固体废物主要有废包装物及边角料等，均回收外售。实际建设产生的危险废物包括废切削液、废化学品容器、废机油，暂存于1号地危废间，委托******公司定期转运处置。危险废物转移过程执行**危险废物转移联单制度。危险废物暂存间已采取了防渗漏、防流失、防扬撒等措施，满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）中的相关规定。****已制定危险废物管理计划，并报有关部门备案。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

制定突发环境事故应急预案，报有关部门备案，并与应急预案联动。加强化学品在运输和使用过程中的管理，分类贮存。贮存场所须按标准建设，应设自动报警装置和必要的应急防范措施，防止火灾、泄漏、爆炸。

已完成制定突发环境事故应急预案****生态环境局备案。同时加强化学品在运输和使用过程中的管理，分类贮存。化学品贮存场所按标准建设，设有自动报警装置和火灾、泄漏、爆炸等防范设施。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程