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| 1 | 激光陶瓷GEM设计与试制 | 1)中子陶瓷GEM设计,要求有效面积不小于200mm*200mm,形成设计图纸, 2)采用激光加工方法对陶瓷GEM进行打孔并进行后处理工艺,形成陶瓷GEM产品,数量40片,要求膜孔均匀,一致性好,孔精度≤±15微米 3)对加工完成的陶瓷GEM产品进行显微镜观察、耐压测试及alpha源性能测试,形成测试报告 | 片 | 40 | 合同签订后3个月内 |